300mm hat üzerinde, temizlemeden sonra oluşan tek bir su izi tüm partisinin kaybına yol açabilir. Bu arıza modunu ortadan kaldırmak için Deionized Water Drying Lamp’ı geliştirdik; size filmin kalıntısı ve partikül sapmaları olmadan kontrollü buharlaşma sağlar.
Teknik olarak önemli olanlar
Lamba, kısa dalga kızılötesi yayıcıları kapalı ve temiz oda uyumlu bir muhafaza içine yerleştirir. Yarı iletken yüzeyini doğrudan ısıtır; böylece konveksiyonun gecikmesini ortadan kaldırırsınız. Yarı yüzeyindeki sıcaklık dağılımı ±0.1°C, ayar noktası tekrarlanabilirliği ise 10.000’den fazla pişirme döngüsünde ±0.2°C seviyesindedir.
Soğuk starttan stabil pişirme profilinin oluşması 30 saniyenin altındadır ve ISO Class 1–100 referanslarına karşı doğrulanmış sıfır partikül üretimiyle çalışır. Sistem 7/24 çalışma için tasarlanmıştır; çıkış sapması 5.000 saat boyunca %5’in altına düşürülen öngörücü termal geri besleme sunar.
Gerçek proses adımlarında neden işe yarar
Temizlik sonrası kurutma ve fotorezist pişirme adımlarında lamba, termal bütçenizi koruyarak aşırı ısınmayı önler—bu aşırı ısınma TTOP incelmesi ya da taban profil değişimlerine sebep olabilir. Sonuç olarak, hem yumuşak hem sert pişirmede daha sıkı CD kontrolü ve daha az yeniden işleme elde edilir, ayrıca tam hazne pişirme plakası kullanımına kıyasla enerji tüketimi azalır.
Daha geniş bir proses aralığında daha yüksek verim sağlarsınız ve kalan su izleri nedeniyle parti kaybı olmaz.
Planlamanız gerekenler
Lamba, termal stabilitenin istenen seviyede kalması için temiz oda standardında montaj ve filtreli, özel bir güç kaynağı beslemesine ihtiyaç duyar. 150/200/300mm yarı iletkenler için optimize edilmiştir.
Çoğu hat platformunu kapsayan retrofit kitleri mevcuttur; ancak eski fırınlara entegre ediyorsanız, ışınlama alanının hizalanması için özel bir aparata ihtiyacınız olabilir. Pişirme profilinizi kilitlemek ve partikül performansını temel referansınızla doğrulamak için kısa bir kalibrasyon sürüşü planlayın.