Litografi işlemlerinde, fotoresistin kurutulması sırasında meydana gelen yarım derecelik bir sapma bile, kontrol altındaki çizgi genişliklerini istenmeyen değerlere dönüştürmeye yetebilir. Değişken olan ayar noktalarıyla verimliliği artırmak mümkün değildir. Bu yüzden, süreç boyunca termal davranışların belirlenen aralıkta kalmasını sağlayan kızılötesi ısıtma modülleri geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Hızlı tepki veren filamentlere sahip kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece hızlı bir ısınma ve stabil bir durum elde ediliyor. Sıcak plaka üzerindeki wafelerin homojenliği ±0,1°C civarında kalıyor; farklı partiler arasındaki tekrarlanabilirlik ise ±0,2°C’dir. Kontrol işlemleri kapalı döngüli pirometri ve PID sistemleri tarafından yapılır ve saniyeler içinde düzeltmeler yapılır; böylece kapı açıldığında sıcaklık artmaz. Modüller, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında çalışır ve kuvars/kseramik yapılar sayesinde hiçbir parça üretilmez; gaz salınımı, dökülme veya kirlenme olmaz.
Fotoresist işlemlerinde neden işe yarar?
Yumuşak ve sert kurutma yöntemleri, çözücünün giderilmesini ve polimerlerin birbirine bağlanmasını sağlar. Kızılötesi ısıtıcılar, kritik boyutların kontrolünü sağlarken kurutma süresini kısaltır; böylece enerji tüketimi azalır ve verimlilik artar. Hızlı tepki verme özelliği sayesinde gereksiz ısı üretimi azalır ve böylece enerji tüketimi düşer.
Güvenilirlik:
Modüller 5.000 saatten fazla süre çalıştı ve verimlilikte %5’ten daha az bir kayma oldu. Yedek modüller standart ekipmanlarla uyumlu olduğundan üretim süreci kesintisiz devam eder.
Dikkat edilmesi gerekenler:
Maksimum performans, ısıtıcıların spektrumunu fotoresistin emilim özelliklerine uydurmakla ve montajın ekipmanın mekanik ve soğutma özelliklerine uyumlu hale getirilmesiyle elde edilir. PID ayarlarını optimize etmek ve belirli substrat yapıları için homojenlik kontrolünü sağlamak için kısa bir test süreci planlanmalıdır. Doğru şekilde ayarlandığında, sıcaklık değerleri belirlenen aralıkta kalır.