Üretim katında, wafer kurutma veya fotoresist pişirmesi sırasında 0.1°C’lik bir sapma, kritik bir ölçüyü spesifikasyondan çıkaracak kadar önemlidir. Sonrasında ne olacağını bilirsiniz—hurda ve üretimin durması. İnceleme aracı ısıtıcıları ek donanım değildir. Süreci her çalıştırmada doğru tutan termal sabitleyicidir.
Yarı iletken inceleme aracı ısıtıcımızı wafer seviyesinde termal uniformiteyi ±0.1°C içinde tutacak şekilde tasarladık, böylece her yumuşak pişirme, sert pişirme ve kürleme olması gerektiği yerde gerçekleşir.
Kaputun altında önemli olanlar
Düşük kütleli ve hızlı tepki veren elemanlar kullanıyoruz, partikül oluşturmayacak şekilde temiz oda uyumlu bir mimari ile eşleştiriyoruz. Isıtıcı, kapılar açılıp kapansa ve termal yük değişse bile 7/24 sürekli çalışmada setpoint tekrarını sağlar. Bu, yumuşak ve sert pişirme pencerelerinde sıkı kontrol anlamına gelir ve paket genelinde tutarlı kürleme sağlar.
Neden üretimde dayanıklıdır
Wafer kurutma, fotoresist pişirme, paketleme kürleme ve 清洗干燥 (temizleme kurutma) işlemlerine dahil edildiğinde istasyonun yeniden kalifikasyonuna gerek kalmaz. Sıkı uniformite kenar boncuk ve cilt etkilerini azaltır, termal doyma süresini kısaltır ve hurdayı düşürür. Ayrıca ısıtıcı setpoint’e hızlı ulaşır ve minimal aşım ile tutar, bu da enerji tasarrufu sağlar.
Birkaç pratik not
Araçla uyumlu montaj ve temiz bir termal ara yüz planlayın—performans düz, temiz temas yüzeyine bağlıdır. Voltaj ve bağlantının istasyonunuzla uyumlu olduğundan emin olun ve bitişik optiklerin termal bütçesini doğrulayın. Yakın IR kaynakları uygun korumaya ihtiyaç duyar. Isıtıcıyı araca uygun seçin, süreç kontrol altında kalır.