Вступ
Істина полягає у тому, що ми виробляємо компоненти для нагріву резисту в технології EUV з однієї простої причини – щоб ваше обладнання для літографії постійно функціонувало без перерв. Жодних простоїв. Жодних проблем.
Технічні вимоги дуже суворі, допуски мінімальні, а умови експлуатації – складні. Тож ми гарантуємо якість наших компонентів протягом 24 місяців. А якщо щось піде не так, ми надамо технічну підтримку протягом 24 годин. Адже коли ваше обладнання зупиняється, кожна хвилина коштує вам чимало грошей.
Технічні деталі
Для ефективного нагріву резисту в технології EUV необхідний точний контроль температури. Тож наші нагрівачі працюють при вхідній напрузі 400 В та потужності 2500 Вт. Цей високий рівень напруги та потужності забезпечують швидке нагрівання та стабільну температуру – саме те, що потрібно для ефективної роботи резисту.
Ми обрали довжину трубки 300 мм не випадково: вона ідеально підходить для стандартних зон нагріву резисту. Це означає, що її можна легко замінити, без необхідності змінювати геометрію камери. Таким чином ви можете швидко повернутися до роботи.
Матеріали та дизайн
Всередині знаходиться галогенний елемент короткохвильового типу, загорнутий у кварцову оболонку. Кварц чудово справляється з процесами швидкого нагрівання та охолодження, а також залишається чистим навіть у вакуумі. Короткохвильове спектр опромінення фокусує енергію саме там, де це необхідно, з мінімальним кількістю вторинного випромінювання.
А спеціальний відбивний шар дозволяє направляти інфрачервону енергію прямо на ціль, що підвищує ефективність нагріву та зменшує втрати тепла.
Конектор R7s забезпечує надійне з’єднання всіх компонентів, навіть під час вібрацій. Його легко підключити, що спрощує процедуру встановлення та запобігає виникненню „гарячих точек“ на місці з’єднання.
Застосування та переваги
У ролі нагрівача резисту в технології EUV ця система забезпечує високу щільність тепла саме там, де це необхідно. Це дозволяє швидко та точно контролювати температуру.
24-місячна гарантія якості – це не просто обіцянка. Вона підтримується контрольованим процесом виробництва та тестуванням у реальних умовах. Тож ви можете спокійно планувати технічне обслуговування.
А якщо щось піде не так, наша 24-годинна технічна підтримка допоможе швидко вирішити проблему.
Варто пам’ятати: робота при напрузі 400 В та потужності 2500 Вт вимагає ефективного охолодження. Система терморегуляції вашого обладнання мусить бути на високому рівні. Ми постачаємо нагрівачі та необхідну підтримку, щоб ваш процес залишався стабільним.