На виробничій лінії постійна робота 24/7 не дозволяє ігнорувати температурні погрішності. М’яке висушування при температурі 95°C, жорстке – при 110°C. Саме ці температури визначають контроль товщини ліній на поверхні пластини та кількість можливих дефектів. Якщо рівномірність температури виходить за межі ±0,5°C, це призводить до збільшення кількості дефектів.
Ми розробили наш тепловий модуль так, щоб він відповідав справжнім вимогам обладнання для виробництва напівпровідників – він може бути використаний замість стандартних пристроїв для висушування пластин у процесі фотолітографії та для складного пакування. Його ефективність перевірена.
Що є важливим з технічної точки зору: Наші нагрівачі без галогенів, налаштовані для роботи в діапазоні НЧ-спектру, забезпечують рівномірність температури на поверхні пластини на рівні ±0,1°C для підложок розміром 150 мм та 200 мм. Повторюваність значень температури становить ±0,05°C.
Архітектура модуля підходить для використання в чистих кімнатах класу 1–100. У стані стабільної роботи вона не створює жодних частинок розміром понад 0,1 мкм. Ізоляція з вуглецевих волокон дозволяє знизити споживання енергії на 25%. Температуру можна змінювати зі швидкістю 10°C/с без перевищення заданого значення.
Кварцові вікна та стандартні разъєми відповідають специфікаціям SEMI.
Чому цей модуль корисний на виробництві: У процесі фотолітографії цей модуль допомагає контролювати розподіл температури та зменшує кількість необхідних корекцій. На лініях пакування він стабілізує температурний режим під час виготовлення корпусів для напівпровідників – це зменшує кількість порожнин та дефектів.
Надійність модуля полягає у тривалості його роботи понад 10 000 годин, без жодних неспланованих зупинок протягом кількох місяців роботи. Це дозволяє швидше завершити процедуру адаптації модуля до умов виробництва, зменшити кількість відходів та передбачувано контролювати витрати на енергію – без змін існуючих процесів виробництва.
Що потрібно врахувати під час встановлення: Для роботи модуля потрібна окрема схема живлення на 24 В постійного струму, а також система відведення повітря, сумісна з умовами чистих кімнат. На налаштування модуля потрібно приблизно 24 години.
Цей модуль відповідає стандартам SEMI. Однак, якщо ви плануєте використовувати його разом зі старими контролерами, може знадобитися оновлення програмного забезпечення. Ми надаємо всі необхідні специфікації та допомагаємо з налаштуванням модуля на місці, щоб зміна була безперешкодною.