На виробничій лінії температурні коливані під час обробки фотохімікатів є явищем, яке можна відчути ще до того, як його побачити. Структура шару фотохімікату починає змінюватися, контроль параметрів CD стає складнішим, а профілі температури під час обробки також змінюються. Коли це відбувається, продуктивність виробництва також знижується.
Що є важливим у конструкції цієї лампи
Ми створили цю інфрачервону лампу на основі конструкції з золотим відбивачем, що дозволяє спрямовувати інфрачервоне випромінювання саме туди, де це необхідно, та запобігати появі зайвого тепла. Результатом є однорідність температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, а також швидка реакція лампи на зміни параметрів. Філамент та корпус лампи розроблені для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100 – без утворення частинок та зі стабільною продуктивністю протягом понад 5,000 годин. Ця стабільність дозволяє зберігати константні параметри температури під час обробки фотохімікатів, що, у свою чергу, сприяє правильній роботі процесів літографії та етchingу.
Чому це важливо під час обробки фотохімікатів
Етап нагрівання визначає всі подальші процеси: видалення розчинників, зчеплення шару фотохімікату з поверхнею пластини та опір шару до етchingу. Завдяки цій лампі профіль температури, який ви бажаєте отримати, саме таким і буде – м’яке нагрівання для видалення розчинників, інтенсивне нагрівання для кращого зчеплення та опору етchingу. Це дозволяє уникнути проблем, пов’язаних з нерівномірністю температури чи появою дефектів. Ефективність також покращується, оскільки відбивач концентрує тепло на поверхні пластини, а не на стінках камери. Надійність цієї лампи полягає у стабільності процесу: менше коливань температури, менше простоїв та стабільні часи виконання процесів.
Практичні деталі
Встановлення лампи полягає у правильному розташуванні відбивача відносно корпусу лампи та узгодженні оптичного шляху. Якщо хоча б один з цих параметрів не буде правильним, однорідність температури буде порушена. Потрібен короткий період на налаштування параметрів лампи відповідно до особливостей вашої технологічної лінії. Лампа підходить для стандартних кріплень, але золотий відбивач потребує обережного поводження – його потрібно тримати в чистоті, щоб зберегти його теплові властивості.