لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران صرف آدھے ڈگری کا فرق بھی کنٹرول شدہ لائن ویڈتھ کو بگاڑنے کے لئے کافی ہے۔ ایسی صورتحال میں پروڈکشن کو برقرار رکھنا ممکن نہیں ہے۔ اس لئے ہم نے انفراریڈ حرارتی ماڈیولز تیار کئے ہیں، تاکہ عمل کے دوران درجہ حرارت کو کنٹرول میں رکھا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم تیز ردِعمل والے فلامنٹس والے شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، تاکہ تیزی سے درجہ حرارت بڑھ سکے اور استحکام برقرار رہ سکے۔ ہاٹپلیٹ پر ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے درمیان رہتا ہے، جبکہ مختلف بیچوں کے درمیان یہ فرق ±0.2°C ہے۔ کلوزڈ-لوپ پائرومیٹری اور PID کے ذریعہ درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جاتا ہے، تاکہ دروازہ کھلنے پر بھی درجہ حرارت میں کوئی تبدیلی نہ آئے۔ یہ ماڈیولز کلاس 1–100 کے صاف کمروں میں نصب کئے جاتے ہیں، اور کوارٹز/سیرامک سے بنے یہ ماڈیولز کسی قسم کے ذرات پیدا نہیں کرتے – نہ ہی کوئی گیس خارج ہوتی ہے، نہ ہی کوئی آلودگی پیدا ہوتی ہے۔
فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں یہ کیسے کام کرتا ہے؟
“سوفٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عمل، حل کو ختم کرنے اور پولیمرز کو آپس میں جوڑنے کا کام کرتے ہیں۔ ہمارے انفراریڈ ماڈیولز، بیکنگ کے وقت کو کم کرتے ہیں، جبکہ کریٹیکل ڈائمینشنز کو کنٹرول میں رکھتے ہیں۔ تیز ردِعمل کی وجہ سے غیرضروری حرارت کم ہوتی ہے، جس سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، بغیر پروڈکشن پر کسی اثر کے۔
قابل اعتمادی کیسے ثابت ہوتی ہے؟
ماڈیولز 5,000 گھنٹوں سے زیادہ وقت تک کام کرتے رہتے ہیں، اور ان کی پروڈکشن میں 5% سے بھی کم فرق ہوتا ہے۔ ماڈیولز کو معیاری آلات کے مطابق تبدیل کیا جاسکتا ہے، تاکہ پروسیس جاری رہ سکے۔
کن باتوں کو مدِنظر رکھنا ضروری ہے؟
بہترین کارکردگی کے لئے، ایمیٹر کے سپیکٹرم کو ریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ہونا ضروری ہے، اور ماڈیول کو آلے کے میکانی اور کولنگ سسٹم کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ PID کو ٹیون کرنے اور سبسٹریٹ کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت کی تصدیق کرنے کے لئے ایک چھوٹا پروٹو ٹائپ بنانا ضروری ہے۔ جب یہ سب ٹھیک ہو جائے، تو درجہ حرارت مستقل طور پر کنٹرول میں رہتا ہے۔