فیبریکیشن لائن پر، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنا صرف ایک عام مرحلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک اہم عمل ہے جو کہ کرٹیکل ڈائمینشنز کو کنٹرول میں رکھنے میں مدد کرتا ہے۔ اگر سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران 2 ڈگری سیلسیس کا فرق پیدا ہو جائے، تو پورا لیتھوگرافی عمل برباد ہو جاتا ہے۔ ایسی صورت میں عمل کو مطلوبہ معیارات کے مطابق چلانا مشکل ہو جاتا ہے۔
ہم نے اپنے فوٹوریزسٹ بیکنگ لیمپوں کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ وہ مسلسل کام کرتے رہیں، تاکہ کرٹیکل ڈائمینشنز کو کنٹرول میں رکھا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم قریب-بنفشی شعاعوں کا استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت یکساں رہے، اور اس کی سطح پر کوئی تغیر نہ آئے۔ اس طریقے سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات برقرار رہتی ہیں۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے سے حل کی خارج ہونے کی رفتار اور فلم کی چپکنے کی صلاحیت بہتر ہوتی ہے۔ اس طریقے سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت یکساں رہتا ہے، اور کوئی غیرضروری ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ اس طرح پروڈکشن کی کارکردگی بہتر رہتی ہے، اور فضول مواد کی مقدار کم رہتی ہے۔
کیا چیزیں درست رکھنا ضروری ہے؟
NIR لیمپوں کو بیکنگ اسٹیشن میں بہت احتیاط سے نصب کرنا ضروری ہے؛ ویفر کی سطح سے ہم آہنگی، مناسب کولنگ، اور ارد گرد کے آلات کی حفاظت بھی ضروری ہے۔ اگر درجہ حرارت کو یکساں رکھنا ہے، تو صاف بجلی اور مناسب تھرمل مینجمنٹ بہت ضروری ہے۔
ہم انسٹالیشن سے متعلق رہنمائی فراہم کرتے ہیں، تاکہ لیمپ پہلے ہی دن سے مطلوبہ معیارات پر کام کرنا شروع کر دے۔ ہم سسٹم کو آپ کے چیمبر کی ساخت اور پروڈکشن کے اہداف کے مطابق ڈیزائن کرتے ہیں۔