Trong môi trường sản xuất, việc hoạt động liên tục 24/7 đòi hỏi phải kiểm soát chính xác nhiệt độ. Nhiệt độ sấy mềm là 95°C, còn nhiệt độ sấy cứng là 110°C – những giá trị này giúp kiểm soát độ dày của các lớp vật liệu và giảm thiểu khuyết tật trong quá trình sản xuất. Nếu độ đồng đều về nhiệt độ vượt quá ±0,5°C, thì chất lượng sản phẩm sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng.
Chúng tôi đã thiết kế bộ phận kiểm soát nhiệt sao cho phù hợp với yêu cầu thực tế của các thiết bị半導体 – có thể thay thế trực tiếp các thiết bị sấy dùng trong quy trình phơi sáng và các công cụ đóng gói tiên tiến. Bộ phận này đã được kiểm tra kỹ lưỡng.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật: Các bộ sưởi không chứa halogen của chúng tôi được điều chỉnh để hoạt động trong dải bước sóng NIR, giúp duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên các tấm vật liệu có kích thước 150 mm và 200 mm. Độ chính xác của nhiệt độ được kiểm soát ở mức ±0,05°C.
Kiểu thiết kế của bộ phận này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100. Khi hoạt động ổn định, bộ phận này không tạo ra bất kỳ hạt nào có kích thước lớn hơn 0,1 μm. Lớp cách nhiệt bằng sợi carbon giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng lên đến 25%. Bạn có thể tăng nhiệt độ với tốc độ 10°C/giây mà không gây ra sự sai lệch về nhiệt độ.
Các cửa sổ bằng thạch anh và các đầu nối tiêu chuẩn của bộ phận này phù hợp với các tiêu chuẩn của SEMI.
Tại sao bộ phận này lại hữu ích trong môi trường sản xuất? Trong quy trình phơi sáng, việc kiểm soát nhiệt độ chặt chẽ giúp giảm sự biến động về độ dày của các lớp vật liệu, từ đó giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa. Trong quy trình đóng gói, bộ phận này giúp duy trì độ ổn định về nhiệt độ, giúp giảm số lượng khuyết tật trong quá trình sản xuất.
Độ tin cậy của bộ phận này được đánh giá thông qua thời gian hoạt động trung bình trên 10.000 giờ, với không có sự ngưng trệ nào xảy ra trong suốt quá trình sản xuất kéo dài nhiều tháng. Bạn sẽ có thời gian chạy thử nhanh hơn, ít sản phẩm bị hỏng hơn, và chi phí vận hành cũng được kiểm soát tốt hơn – mà không cần thay đổi quy trình sản xuất hiện tại.
Những gì bạn cần lên kế hoạch: Việc lắp đặt bộ phận này đòi hỏi một mạch điện 24 VDC riêng biệt, cùng với hệ thống thoát khí phù hợp với môi trường phòng sạch. Thời gian cần thiết để kiểm tra và điều chỉnh các thông số nhiệt độ là khoảng 24 giờ.
Bộ phận này đáp ứng các tiêu chuẩn của SEMI. Tuy nhiên, nếu bạn muốn tích hợp nó với các bộ điều khiển cũ, bạn có thể cần cập nhật thông số kết nối. Chúng tôi cung cấp các thông số kết nối và dịch vụ lắp đặt tại chỗ, giúp việc chuyển đổi diễn ra một cách thuận lợi.