Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, chỉ cần có sự chênh lệch nửa độ trong quá trình nung chảy lớp phim quang học thôi cũng đủ khiến cho độ dày của các đường viền được tạo ra trở nên không ổn định. Bạn không thể đảm bảo chất lượng sản phẩm nếu các thông số điều khiển liên tục thay đổi. Vì vậy, chúng tôi đã chế tạo các mô-đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại, giúp duy trì độ ổn định về nhiệt độ trong suốt toàn bộ quy trình sản xuất.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật:
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn, có khả năng phản ứng nhanh, nhờ đó giúp quá trình nung diễn ra nhanh chóng và ổn định. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C; độ lặp lại giữa các lô sản xuất là ±0,2°C. Các hệ thống kiểm soát nhiệt độ loại closed-loop cùng công nghệ PID giúp điều chỉnh nhiệt độ trong vòng dưới một giây, nhờ đó nhiệt độ không bị thay đổi khi cửa buồng sản xuất được mở. Các mô-đun này được lắp đặt trong môi trường sạch loại Class 1–100, và bộ phận làm từ thạch anh/ceramic được thiết kế để không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào – không có khí thải, không có hiện tượng bong tróc hay nhiễm bẩn.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong quy trình xử lý lớp phim quang học:
Quá trình nung mềm và nung cứng giúp loại bỏ chất dung môi và tạo liên kết giữa các phân tử polymer. Phương pháp sử dụng tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian nung, đồng thời vẫn duy trì được độ chính xác về kích thước của các đường viền. Khả năng phản ứng nhanh giúp giảm lượng nhiệt dư thừa, từ đó giảm mức tiêu thụ năng lượng mà không ảnh hưởng đến tốc độ sản xuất.
Độ tin cậy của các mô-đun này:
Các mô-đun này đã hoạt động được hơn 5.000 giờ mà độ lệch về chất lượng sản phẩm chưa đến 5%. Chúng có thể được thay thế một cách dễ dàng, giúp quy trình sản xuất không bị gián đoạn.
Những điều cần lưu ý:
Để đạt được hiệu suất tối ưu, cần phải điều chỉnh phổ tia hồng ngoại sao cho phù hợp với khả năng hấp thụ ánh sáng của lớp phim quang học, đồng thời điều chỉnh cách lắp đặt mô-đun sao cho phù hợp với cấu trúc cơ học và hệ thống làm mát của máy móc. Hãy thực hiện một lô sản xuất thử nghiệm để điều chỉnh các thông số PID và xác nhận mức độ đồng đều của nhiệt độ trên từng loại vật liệu được sử dụng. Khi mọi thứ đã được điều chỉnh đúng cách, nhiệt độ sẽ được duy trì ở mức ổn định – không chỉ trên biểu đồ mà còn trong thực tế.