Ra ngoài sàn chế tạo, sự trôi lạc của bộ gia nhiệt không gây ra một cảnh báo lớn. Nó thể hiện qua nhiệt độ nướng mềm bắt đầu dao động, độ mở rộng của kích thước quan trọng ngày càng lớn, và các đặc điểm photoresist rơi ra ngoài khoảng đủ điều kiện. Mỗi phút ngừng hoạt động không dự kiến đều khiến bạn mất đi các wafer tốt.
Chúng tôi đã chế tạo bộ thay thế bộ gia nhiệt Lam Research để đưa kiểm soát nhiệt trở lại nơi mà hệ thống ban đầu mong đợi.
Điều thực sự quan trọng dưới tải là tính lặp lại. Chúng tôi khớp lại hồ sơ nhiệt ban đầu bằng cách sử dụng các yếu tố hồng ngoại sóng ngắn và các gương phản xạ được thiết kế, vì vậy sự đồng nhất ở cấp wafer vẫn nằm trong khoảng ±0.1°C trên toàn bộ phạm vi nướng. Khối gia nhiệt và các cụm thạch anh được chế tạo theo tiêu chuẩn phòng sạch Class 1–100, và các bề mặt cũng như con dấu được chọn để giữ cho sự phát sinh hạt ở mức không trong suốt quá trình quay và nướng.
Đầu ra vẫn ổn định qua hơn 5,000 giờ, và giao diện điều khiển phù hợp với công cụ tiêu chuẩn của Lam. Điều đó có nghĩa là công thức của bạn được chuyển giao mà không cần làm lại.
Đây là lý do tại sao nó hoạt động tốt trong thực tế: nó giữ cho dây chuyền sản xuất hoạt động. Bạn nhận lại độ chính xác trong việc nướng photoresist, bạn giảm lãng phí, và bạn tiết kiệm năng lượng nhờ vào con đường nhiệt hiệu quả hơn. Bộ thay thế là một tùy chọn đã được xác minh, tương đương với tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế, do đó việc đủ điều kiện nhanh chóng hơn và rủi ro về các biến động quy trình giảm xuống.
Việc lắp đặt chủ yếu phụ thuộc vào việc khớp với lắp đặt ban đầu, việc đệm, và hiệu chuẩn cảm biến. Hãy lên kế hoạch cho một khoảng thời gian ngừng hoạt động ngắn, và kiểm tra lại loại kết nối và hồ sơ nhiệt so với nền tảng Lam cụ thể của bạn.
Khi nó đã được căn chỉnh, thiết bị hoạt động 24/7 mà không cần điều chỉnh đặc biệt—chỉ cần sự ổn định nhiệt liên tục, ngày qua ngày.