别再把洁净室中的运输车变成“加热器”了
在搬运半导体晶圆时，保持其处于合适的温度是一个需要精确控制的环节。长期以来，人们通常使用对流式加热器来达到这一目的。但问题在于，这种加热方式会使整个空间都变热。这样一来，运输车就相当于一个巨大的散热器，操作人员在接触其外壳时就有被烫伤的风险。
所以，我们决定不再使用对流式加热器，而是改用定向红外线加热方式。
工作原理
可以把它想象成一只能产生热量的手电筒。与普通手电筒不同的是，红外线灯会以直线方式发射电磁辐射。这些能量只有在碰到目标物时才会转化为热量。通过合理调整灯具的位置并使用反射器，我们可以将热量精准地传递到晶圆上。这样一来，内部墙壁就不会吸收多余的能源，运输车的结构也能保持凉爽。这样，热量就能准确地传递到晶圆所在的位置，而不会影响到其他地方。
缺点（因为没有什么是完美的）
我们通常选择短波石英灯。这类灯的优点是能够迅速提升温度。只需将它们连接到运输车的电源上，就能实现精确的温度控制。不过，这种加热方式的缺点是热量非常集中。如果反射器出现偏差，或者在没有装载晶圆的情况下使用该设备，那些热量就会照射到内部结构上。因此，必须确保内部结构能够承受这种特定波长的热量，否则可能会导致设备变形。
带来的好处
最棒的是，我们不必再为运输车外部沉重的绝缘材料而烦恼了。这样一来，运输车的体积就会变小，这无疑有利于维持洁净室内的空气流动。此外，操作人员也不必担心会被烫伤。整个系统的设计也变得更加简单，而且无需为了搬运几块晶圆而让空调系统持续运转来降温。