পুরানো পদ্ধতি ত্যাগ করে IR ব্যবহার করে MEMS ওয়েফারগুলো শুকানো হয়।
MEMS সেন্সর তৈরি করার সময়, ওয়েফারগুলো থেকে আর্দ্রতা অপসারণ করা খুবই কঠিন। জলটি দ্রুত অপসারণ করা দরকার; কিন্তু যদি তাপমাত্রা ঠিক না রাখা হয়, তাহলে উপাদানটি ক্ষতিগ্রস্ত হবে এবং পুরো প্রক্রিয়াটিই নষ্ট হয়ে যাবে।
এই কারণেই আমরা শর্টওয়েভ ইনফ্রারেড (IR) ল্যাম্প ব্যবহার করি।
একটি সাধারণ কনভেকশন ওভেনের কথা ভাবুন। এটা একটি ওয়েফার শুকানোর জন্য সমস্ত জায়গাকে—বাতাস, দেয়াল, পুরো ঘরকে—উত্তপ্ত করে। এটা অপচয়। কিন্তু IR ল্যাম্পগুলো সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে আলো ফেলে। কোনো মধ্যবর্তী উপাদান নেই।
এর পদার্থবিজ্ঞানটা আসলে খুবই সরল।
এই ল্যাম্পগুলো বিদ্যুতকে বিকিরণশীল তাপে রূপান্তরিত করে। আমরা এগুলোকে ছোট জায়গায় অনেক শক্তি সরবরাহ করার জন্য ডিজাইন করি; ফলে জলটি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই ওয়েফারের পৃষ্ঠ থেকে অপসারিত হয়। যেহেতু ওয়েফারের চারপাশের বাতাসকে উত্তপ্ত করার দরকার নেই, তাই শক্তি অপচয় হয় না। এটাই “সবুজ” পদ্ধতির মূল বৈশিষ্ট্য। কম শক্তি অপচয় মানেই কম কার্বন নিঃসরণ। খুবই সহজ।
এখন, ল্যাম্পগুলোর গঠন নিয়ে।
আমরা এগুলোকে উচ্চ-পরিশুদ্ধতার কোয়ার্টজের ভিতরে টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্ট ব্যবহার করে তৈরি করি। এগুলোকে আরও কার্যকর করার জন্য আমরা কোয়ার্টজে বিশেষ কোটিং যোগ করি। এটাই এগুলোর গুরুত্বপূর্ণ বৈশিষ্ট্য—এটা নিশ্চিত করে যে শক্তিটি সরাসরি জলকণাগুলোকে লক্ষ্য করে, আর সিলিকন সাবস্ট্রেটে ঢুকে যায় না।
কিন্তু একটি বিষয় মনে রাখতে হবে: যত বেশি শক্তি ব্যবহার করা হবে, ল্যাম্পটিকে ঠান্ডা রাখার ব্যাপারে ততই চিন্তা করতে হবে। নইলে ল্যাম্পের কানেক্টরগুলো গলে যাবে, আর এটা অবশ্যই একটি সমস্যা।
কারখানায় এগুলো ব্যবহার করার ব্যাপারে।
যদি আপনি এখনও পুরানো গ্যাস-চালিত সিস্টেম বা বড় ওভেন ব্যবহার করেন, তাহলে সেগুলোর পরিবর্তে IR ল্যাম্প ব্যবহার করাই সবচেয়ে ভালো সিদ্ধান্ত। এতে প্রতি ওয়েফারের জন্য ব্যবহৃত শক্তির পরিমাণ কমে যায়।
আমরা এগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করি যাতে সহজেই বদলানো যায়; ফলে আপনাকে উন্নয়নের জন্য কয়েক সপ্তাহ ধরে কারখানা বন্ধ রাখতে হয় না। আপনি দ্রুত ওয়েফারগুলোকে প্রক্রিয়ার মধ্য দিয়ে নিয়ে যেতে পারেন, আর আপনার নিঃসরণও কমে যাবে।
শুধুমাত্র একটি বিষয় মনে রাখতে হবে: যত বেশি শক্তি ব্যবহার করা হবে, ল্যাম্পটিকে ঠান্ডা রাখার ব্যাপারে ততই চিন্তা করতে হবে। নইলে ল্যাম্পের কানেক্টরগুলো গলে যাবে, আর এটা অবশ্যই একটি সমস্যা।