V provozu výroby není odchylka teploty během měkkého nebo tvrdého zahřívání jen problémem na úrovni jednotlivých výrobních kroků – projevuje se to jako skutečné vady. Při měkkém zahřívání dochází k tomu, že rozpouštědlo zůstává uvězněno v fotoresistu. Při tvrdém zahřívání naopak dochází k proudění kapalin, což způsobuje rozmazání obrazců. Výsledkem jsou znehodnocené destičky, potřeba oprav a plýtvání energií, které si nemůžeme dovolit.
Co je z hlediska techniky důležité
Vytvořili jsme zařízení na ohřev destiček, které udržuje rovnost teploty na úrovni ±0,1 °C po celou dobu procesu. Díky tomu je zahřívání fotoresistu reprodukovatelné a kontrola rozměrů zůstává stabilní. Rychle reagující prvky umožňují precizní kontrolu teploty. Design zařízení je kompatibilní s prostředím tříd 1–100, bez přidání částic. Zařízení funguje 24/7 bez neplanovaných přestávek. Nízká spotřeba energie snižuje náklady, aniž by došlo ke ztrátě stability teploty.
V litografii je důležité mít takové profily zahřívání, které zůstanou konstantní v každé várce. Toto zařízení udržuje nastavenou teplotu stabilní, takže měkké zahřívání uschne destičku rovnoměrně a tvrdé zahřívání zajistí správné uložení fotoresistu bez vzniku proudění kapalin. To znamená méně oprav, vyšší výtěžnost a spolehlivé cykly výroby.
Úspory energie pramení z efektivního ohřevu a menšího množství plýtvání během procesu, což snižuje provozní náklady, přičemž se zachovává stabilita teploty.
Instalace a kalibrace
Instalace spočívá v přizpůsobení zařízení stávajícím zařízením a infrastruktuře. Poskytujeme návrhy rozvodů a dokumentaci o kompatibilitě jednotlivých prvků, abyste mohli zařízení okamžitě použít.
Plánujte krátký testovací provoz, abyste určili optimální parametry zahřívání pro váš konkrétní typ fotoresistu. Zařízení je odolné, ale kvůli termickým cyklům je potřeba ho pravidelně kalibrovat – jednejte s ním stejně jako s jakýmkoli dalším senzorem v procesu.