Proč používáme Vodotěsné IR lampy v linkách na výrobu polovodičů
Pojďme mluvit o procesu oplachování a sušení v výrobě polovodičů. Pokud jste někdy pracovali na takové lince, víte, že právě tento proces obvykle zpomaluje celý proces výroby. Je to úzké hrdlo.
Abychom to vyřešili, používáme vodotěsné infračervené (IR) lampy. Jsou to nejlepší nástroje na to, aby se wafer dostal z stavu „úplně mokrý“ do stavu „úplně suchý“, aniž by došlo k poškození povrchu nebo zbytkům kontaminantů.
Problém s starými troubami
Dříve se používaly konvekční trouby. Ale zamyslete se nad tím: zahříváte obrovské množství vzduchu jen proto, abyste vysušili malý wafer. Je to plýtvání energií.
IR lampy jsou jiné – využívají elektromagnetické záření k přímému působení na vlhkost na povrchu waferu. Vůbec nepotřebují vzduch. Protože jsou tak efektivní, nemusíme používat ty staré, škodlivé chemické rozpouštědla nebo přísady na bázi olova. Jedná se prostě o čistou, přímou energii.
Jak se vypořádat s vlhkostí
Zde je problém: tyto lampy se nacházejí hned za stanicí pro oplachování. To znamená, že jsou neustále vystaveny vlhkosti a chemickým párům. Je to opravdu drsné prostředí.
Pokud bude běžná křemíková trubice vystavena vodě, zatímco je velmi horká, okamžitě se rozbije. Abychom tomu zabránili, používáme speciální křemíkové obaly a utěsněné konce trubek. Tím se vlhkost nedostane k vláknu lampy, takže se lampa nezničí.
Rozhodli jsme se také pro krátkovlnné IR lampy. Proč? Protože pronikají hlouběji a dokážou okamžitě odstranit vodu z povrchu waferu. Je to rychlé – opravdu rychlé. A to znamená, že vaše zařízení zabírá mnohem méně prostoru.
Nevýhoda: Řízení tepla
Existuje však jedna kompromisní situace – vysokointenzivní IR lampy vydávají hodně tepla. Nemůžete je prostě zapnout a odejít.
Pokud nemáte vhodný chladič nebo systém proudění vzduchu, vaše zařízení začne deformovat. Ještě horší je, že lampy se předčasně rozbijí kvůli nadměrnému teplu. Musíte správně nastavit chlazení, jinak jen plýtváte penězi na náhradní díly.
Navrhujeme tyto lampy jako náhrady, které se jednoduše nasadí místo starých lamp. Díky přizpůsobení vlnové délky tak, aby odpovídala způsobu, jakým voda pohlcuje teplo, můžeme wafer dokonale vysušit, aniž by došlo k přehřátí samotného substrátu. Prostě to funguje.