http://eco-ir-heat.com/cs/tags/chamber/ Recent content in Chamber on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo cs Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/cs/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Infrazářič do vakuové komory"></p> <p>Na lince 300mm není soft bake volitelný — je to váš tepelný rozpočet, jasně a jednoduše. Kolísání o 2°C přes <a href="https://o-yate.net">wafer</a> může posunout CD o nanometry a vakuová komora tento posun ještě zhoršuje. Navrhli jsme náš IR ohřívač do vakuové komory tak, aby tuto variabilitu eliminoval, takže teplota zůstává opakovatelná tam, kde je to potřeba pro litografii a práci s tenkými vrstvami.</p> <p><strong>Co je důležité pod povrchem</strong><br> Používáme krátkovlnné infračervené (NIR) emitery v rychle reagující křemenné baňce, naladěné na rychlé ustálení pod vakuem. Uniformita teploty v rovině <a href="https://o-yate.com">waferu</a> je ±0,1°C v rámci procesního okna a opakovatelnost mezi dávkami se drží v rámci ±0,5°C. Tělo ohřívače je navrženo pro integraci do čistých prostor třídy 1–100: materiály s nízkým outgassingem a uspořádání minimalizující částice, které zabraňuje kontaminaci waferu. Výkon zůstává stabilní od klidového režimu až po plné zatížení a řídící smyčka kompenzuje změny emisivity na vzorcích s vzorem bez přestřelu.</p>