Infrasační ohřívač kompatibilní s vakuem

Sat, 18 Jul 2026 04:03:21 +0800

Proč se tak trápíme testováním našich vakuových IR topení

Vakuové prostředí má jednu zvláštnost – mění pravidla fungování elektrozařízení. Když odstraníte vzduch z komory, elektřina přestává fungovat tak, jak jsme zvyklí. V běžné místnosti působí vzduch jako přirozený izolant. V vakuu však tento „bezpečnostní filtr“ chybí. Náhle se riziko vzniku výboje nebo úplného selhání dielektrika stává skutečným problémem.

Naše lampy navrhujeme tak, aby odolaly těmto extrémním podmínkám. Ale dobrý návrh je pouze tak spolehlivý, jak spolehlivé jsou testy, které ho podporují.

Infrazářič do vakuové komory

Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800

Na lince 300mm není soft bake volitelný — je to váš tepelný rozpočet, jasně a jednoduše. Kolísání o 2°C přes wafer může posunout CD o nanometry a vakuová komora tento posun ještě zhoršuje. Navrhli jsme náš IR ohřívač do vakuové komory tak, aby tuto variabilitu eliminoval, takže teplota zůstává opakovatelná tam, kde je to potřeba pro litografii a práci s tenkými vrstvami.

Co je důležité pod povrchem
Používáme krátkovlnné infračervené (NIR) emitery v rychle reagující křemenné baňce, naladěné na rychlé ustálení pod vakuem. Uniformita teploty v rovině waferu je ±0,1°C v rámci procesního okna a opakovatelnost mezi dávkami se drží v rámci ±0,5°C. Tělo ohřívače je navrženo pro integraci do čistých prostor třídy 1–100: materiály s nízkým outgassingem a uspořádání minimalizující částice, které zabraňuje kontaminaci waferu. Výkon zůstává stabilní od klidového režimu až po plné zatížení a řídící smyčka kompenzuje změny emisivity na vzorcích s vzorem bez přestřelu.

Vakuum on Eco-Friendly Infrared Heating

Infrasační ohřívač kompatibilní s vakuem

Proč se tak trápíme testováním našich vakuových IR topení

Infrazářič do vakuové komory