http://eco-ir-heat.com/de/tags/befestigung/ Recent content in Befestigung on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo de Wed, 17 Jun 2026 15:29:02 +0800 http://eco-ir-heat.com/de/posts/infrared-lamp-mounting-clip/ Wed, 17 Jun 2026 15:29:02 +0800 http://eco-ir-heat.com/de/posts/infrared-lamp-mounting-clip/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Halterung für Infrarotlampe"></p> <p>Auf der Fertigungsebene ist man sich bewusst, wie wichtig es ist, dass die Temperatur während des Trocknungsprozesses des Photoresists genau kontrolliert wird – schließlich kann bereits eine Abweichung von 0,5 °C dazu führen, dass kritische Dimensionen um Nanometer verändert werden und somit die Anforderungen an die Lithografie nicht mehr erfüllt werden. Der Halter für die Infrarotlampe ist also nicht nur ein einfaches Halteelement. Er sorgt dafür, dass die Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1 °C konstant bleibt – dadurch bleiben die Parameter für den weichen und harten Trocknungsprozess innerhalb der zulässigen Grenzen.</p>