Energie on Eco-Friendly Infrared Heating

Energieaudyt für die Trocknung in der Fabrik

Sat, 25 Jul 2026 04:34:41 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizgeräte Ihre Produktivität ruinieren!
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie dieses Problem nur zu gut. Schon ein winziger Staubkorn oder etwas Abgas kann dazu führen, dass Ihre Produktivität stark sinkt. Das ist frustrierend – besonders, wenn gerade die Geräte, mit denen Sie Ihre Wafer oder Bauteile trocknen, selbst Partikel in den Arbeitsbereich abgeben.

Deshalb haben wir auf hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen umgestellt.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir verwenden geschmolzenen Quarz mit nahezu keinerlei Verunreinigungen. Warum? Weil billige Materialien bei hohen Temperaturen Metallionen oder organische Verbindungen abgeben. Das ist nicht gut. Quarz hingegen oxidiert nicht und blättert auch nicht ab wie solche metallbeschichteten Heizgeräte.

Energieeffizientes Halbleiterheizen

Fri, 24 Jul 2026 11:41:12 +0800

Hören Sie auf, die Luft zu erhitzen: Eine intelligente Methode zur Wärmebehandlung von Halbleitern
Seien wir ehrlich: Herkömmliche Konvektionsöfen sind im Grunde genommen riesige Behälter, die jede einzelne Luftmolekül darin erwärmen müssen, nur damit ein winziger Wafer auf die richtige Temperatur gebracht werden kann. Das ist eine enorme Energieverschwendung.

Wir haben eine bessere Methode gefunden. Anstatt den ganzen Raum zu heizen, verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen, um direkt die Oberfläche des Wafern zu erwärmen. Es ist, als würde man von einem Heizgerät auf eine Infrarotlampe umsteigen – man muss nicht mehr die Wände der Maschine erwärmen, sondern die Energie direkt dorthin leiten, wo sie wirklich benötigt wird.

Energieeffizienter Wafernheizer

Sat, 20 Jun 2026 05:28:55 +0800

In der Fertigungshalle führt eine Temperaturschwankung während des Weichbrennvorgangs oder des Hartbrennvorgangs nicht nur dazu, dass der Produktionsprozess gestoppt werden muss – sie führt auch zu tatsächlichen Defekten. Bei einem zu geringen Temperaturwert beim Weichbrennen bleibt Lösungsmittel im Photoresist zurück. Beim zu hohen Temperaturwert beim Hartbrennen entsteht ein Strömungseffekt, wodurch die Muster verschwimmen. Die Folge sind nutzlose Wafer, zusätzliche Bearbeitungsarbeiten sowie Energieverluste, die man sich nicht leisten kann.

Was technisch wichtig ist: Wir haben einen Waferheizer entwickelt, der eine Konstanz der Temperatur auf dem Wafer auf ±0,1°C über den gesamten Prozessverlauf hinweg gewährleistet. Dadurch ist das Brennen des Photoresists reproduzierbar und die Kontrolle der kritischen Abmessungen bleibt stabil. Schnell reagierende Elemente ermöglichen eine präzise Temperaturregelung. Zudem ist die Konstruktion für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet, ohne dass Partikel entstehen. Der Heizer kann 24/7 betrieben werden, ohne unplanmäßige Ausfälle. Durch den niedrigen Energieverbrauch wird die Temperaturstabilität gewahrt.