Austausch des Lam Research Heizelements

Thu, 04 Jun 2026 03:20:03 +0800

Out on the fab floor wirft ein Heater Drift keinen großen roten Alarm aus. Er zeigt sich als eine Soft-Bake-Temperatur, die zu wandern beginnt, sich verbreiternde kritische Dimensionsstreuungen und Photoresist-Profile, die außerhalb des Qualifikationsfensters liegen. Jede Minute ungeplanter Ausfallzeit kostet gute Wafer.

Wir haben diesen Lam Research Heater-Ersatz entwickelt, um die thermische Kontrolle wieder dorthin zu bringen, wo das Originalsystem sie erwartet.

Was unter Last wirklich zählt, ist die Reproduzierbarkeit. Wir passen das ursprüngliche thermische Profil mit kurzwelligen Infrarotelementen und speziell entwickelten Reflektoren an, sodass die Wafer-Ebenen-Uniformität über den gesamten Bake-Bereich innerhalb von ±0,1°C verbleibt. Der Heizblock und die Quarzbaugruppen sind nach Reinraumklasse 1–100 gefertigt, und die Oberflächen sowie Dichtungen sind so ausgewählt, dass während der Spin- und Bake-Zyklen keine Partikel erzeugt werden.

Lam on Eco-Friendly Infrared Heating

Austausch des Lam Research Heizelements