http://eco-ir-heat.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo de Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800 http://eco-ir-heat.com/de/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-shortwave-infrared-heating/ Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800 http://eco-ir-heat.com/de/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-shortwave-infrared-heating/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern"></p> <p>Den alten Weg aufgeben: MEMS-Wafer mit Infrarot-Strahlung trocknen<br> Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist es wichtig, die Feuchtigkeit von den Wafern zu entfernen. Dabei muss man vorsichtig vorgehen – schließlich soll das Wasser schnell entfernt werden. Doch wenn man bei der Temperatursteuerung Fehler macht, kann das Material beschädigt werden und die gesamte Charge ist ruiniert.</p> <p>Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen.<br> Stellen Sie sich einen herkömmlichen Konvektionsofen vor: Er heizt alles auf – die Luft, die Wände, den ganzen Raum – nur um einen einzigen Wafer zu trocknen. Das ist Verschwendung. Infrarotstrahlung hingegen trifft direkt auf die Oberfläche des Wafers – ohne Zwischenmittel.</p>