Reflektor on Eco-Friendly Infrared Heating

Reflektor für Wafer Aushärtungslampe

Mon, 20 Jul 2026 11:17:18 +0800

Wie man verhindert, dass die Lampen zur Trocknung der Wafer versagen
Bei der Trocknung von Wafern geht es im Grunde darum, eine perfekte Temperatur zu erreichen. Dafür verwenden wir Lampen und Reflektoren mit hoher Intensität – Produkte, die für Präzision konstruiert sind. Doch hier liegt das Problem: Wenn man so viel Hochspannung in einen kleinen Raum bringt, entstehen Risiken durch elektrische Lecks. Das ist ein echtes Problem, wenn man damit nicht richtig umgeht.

Warum wir jede einzelne Lampe testen
Wir führen keine Stichprobenprüfungen durch. Das ist etwas für Leute, die gerne mit ihrer Ausrüstung „spielen“. Stattdessen wird jede einzelne Lampe vor dem Verlassen unserer Fabrik auf ihre Belastbarkeit sowie ihre Isolationsfestigkeit überprüft. 100 % der Lampen werden so geprüft.
Warum? Denn in einem System zur Trocknung von Wafern kann bereits ein winziger Riss in der Isolierung oder ein mikroskopischer Sprung im Quarz zu katastrophalen Folgen führen. Dann entsteht ein Überschlag – und plötzlich muss man nicht nur einen Sicherungen austauschen, sondern auch eventuell beschädigte Controllerboards oder sogar ionisierte Teilchen, die die Wafer zerstören könnten.
Wir treiben die Isolierung während der Tests bis an ihre Grenzen – damit sie in der Produktion weiterhin funktioniert.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Sun, 19 Jul 2026 15:26:26 +0800

Das Ende des Albtraums durch defekte Lampen bei der Waferverarbeitung
Falls Sie schon einmal erlebt haben, dass eine IR-Lampe während eines Hochlastbetriebs kaputtgegangen ist, wissen Sie, dass es nicht nur um den Stillstand geht. Es entsteht ein echtes Chaos: Glasstücke und Tungstfilamente fallen auf die Wafer – das ist im Grunde eine Katastrophe bezüglich der Kontamination der Wafer.

Wir haben viel Zeit investiert, um herauszufinden, wie man verhindern kann, dass so etwas passiert.

Warum der Aluminiumreflektor wichtig ist
Wir verwenden Aluminiumreflektoren von hoher Reinheit – sie dienen nicht nur dazu, die Wärme zu lenken. Man kann sie auch als „Sicherheitsnetz“ betrachten. Durch das Einsetzen der Lampe in eine präzise gefertigte Aluminiumschale entsteht eine physische Barriere. Wenn eine Lampe kaputtgeht, fängt die Schale den größten Teil der Trümmer auf, bevor diese weiterfliegen können.

Infrarotlampe mit Goldreflektor

Fri, 19 Jun 2026 05:42:15 +0800

In der Fertigungshalle sind thermische Schwankungen während des Photosistentherapieverfahrens etwas, was man vorher schon wahrnehmen kann – noch bevor man es sieht. Die Schichtstruktur beginnt zu verschwimmen, die Kontrolle über die Dicke der Schicht wird schwierig, und man merkt, dass die Profile für die weiche sowie harte Trocknungsphase nicht mehr konstant sind. Wenn das passiert, folgt auch die Produktionsqualität dieser Kurve.

Was wirklich wichtig ist
Wir haben diese Infrarotlampe nach einem Prinzip mit Goldreflektor entwickelt. Dadurch wird die Wärme genau dort abgegeben, wo sie benötigt wird, und unerwünschte Wärmequellen werden vermieden. Das Ergebnis ist eine Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche von ±0,1°C – mit einer schnellen Reaktion auf Änderungen der Einstellungen. Der Filament und die Hülle der Lampe sind für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1–100 geeignet – es entstehen keine Partikel, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil. Diese Stabilität sorgt dafür, dass die thermischen Bedingungen beim Fotosistentherapieverfahren von Charge zu Charge konstant bleiben – somit funktionieren Lithografie- und Ätzprozesse wie vorgesehen.