Sensor on Eco-Friendly Infrared Heating

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern

Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800

Den alten Weg aufgeben: MEMS-Wafer mit Infrarot-Strahlung trocknen
Bei der Herstellung von MEMS-Sensoren ist es wichtig, die Feuchtigkeit von den Wafern zu entfernen. Dabei muss man vorsichtig vorgehen – schließlich soll das Wasser schnell entfernt werden. Doch wenn man bei der Temperatursteuerung Fehler macht, kann das Material beschädigt werden und die gesamte Charge ist ruiniert.

Deshalb verwenden wir Kurzwellen-Infrarotlampen.
Stellen Sie sich einen herkömmlichen Konvektionsofen vor: Er heizt alles auf – die Luft, die Wände, den ganzen Raum – nur um einen einzigen Wafer zu trocknen. Das ist Verschwendung. Infrarotstrahlung hingegen trifft direkt auf die Oberfläche des Wafers – ohne Zwischenmittel.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Tue, 21 Jul 2026 09:35:45 +0800

Sicherstellen, dass die Heizer der Wasserstoffsensoren nicht explodieren
Beim Bau von Wasserstoffsensoren ist es äußerst wichtig, das richtige thermische Profil zu erreichen. Die Wärme ist notwendig, um die Materialien miteinander zu verbinden und die Sensorelemente stabil zu halten. Wir bauen unsere Heizer so, dass sie auch hohen thermischen Belastungen standhalten können. Doch ehrlich gesagt: Die Wärme ist nicht das, was uns nachts wachhält. Es geht vielmehr um Leckagen im elektrischen System. Ein kleiner Fehler in der Isolierung kann dazu führen, dass das Steuergerät beschädigt wird oder das Substrat kontaminiert wird. Das ist ein Albtraum, mit dem niemand an einem Dienstagmorgen konfrontiert werden möchte.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Sun, 19 Jul 2026 15:21:15 +0800

Wie man die Wafer sauber hält: Die Wahrheit über den Versagen der Lampen
Wenn man mit hoher Geschwindigkeit Wafer herstellt, kennt man sicherlich dieses schreckliche Szenario: Eine Lampe versagt.
Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – auch wenn diese natürlich ärgerlich sind. Viel wichtiger ist die Unordnung, die entsteht. Wenn die Quarzkapsel zerbricht, fallen Glasscherben sowie Wolframfäden auf die Wafer. Ein einziger Fehler bedeutet, dass die gesamte Charge als Schrott gilt. Das ist eine echte Katastrophe.
Wir haben viel Zeit investiert, um herauszufinden, wie man das verhindern kann – vor allem indem wir neu darüber nachgedacht haben, wie diese Lampen eigentlich konstruiert werden sollen.