Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Sat, 18 Jul 2026 04:03:21 +0800

Warum wir so viel Wert auf die Prüfung unserer Vakuum-IR-Heizer legen
Im Vakuum ändern sich die Regeln. Wenn man die Luft aus einem Raum entfernt, verhält sich der Strom nicht mehr so, wie wir es gewohnt sind. In einem normalen Raum fungiert die Luft als natürlicher Isolator. Im Vakuum hingegen gibt es diesen Schutz mehr nicht – plötzlich wird das Risiko von Entladungen oder einem vollständigen Durchbruch der Isolation zu einem echten Problem.

Wir entwerfen unsere Lampen so, dass sie solchen extremen Bedingungen standhalten können. Doch ein guter Design ist nur dann zuverlässig, wenn er durch gründliche Tests gestützt wird.

Vakuumkammer Infrarotheizung

Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800

Auf der 300mm-Linie ist Softbake keine Option – es ist Ihr thermisches Budget, schlicht und einfach. Eine Temperaturschwankung von 2°C über den Wafer kann den CD um Nanometer verschieben, und die Vakuumkammer verschärft jede Drift. Wir haben unseren Infrarot-Heizer für die Vakuumkammer so konstruiert, dass diese Variabilität eliminiert wird, sodass die Temperatur dort wiederholbar bleibt, wo Lithografie und Dünnfilmschichten es erfordern.

Was unter der Haube zählt
Wir betreiben kurzwellige Infrarot-(NIR)-Emitter in einer schnell ansprechenden Quarzhülle, abgestimmt auf schnelle Stabilisierung im Vakuum. Die Wafer-Ebenen-Uniformität liegt bei ±0,1°C über das Prozessfenster, und die Wiederholbarkeit von Charge zu Charge bleibt innerhalb von ±0,5°C. Das Heizkörpergehäuse ist für die Integration in Reinräume der Klasse 1–100 ausgelegt: Materialien mit niedriger Ausgasung und ein layout mit minimaler Partikelbildung, das Kontaminationen vom Wafer fernhält. Die Ausgangsleistung bleibt vom Leerlauf bis zur Volllast stabil, und die Regelung kompensiert Emissionsverschiebungen über strukturierte Wafer ohne Überschwingen.

Vakuum on Eco-Friendly Infrared Heating

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Vakuumkammer Infrarotheizung