Lámpara de secado _con agua desionizada

Mon, 08 Jun 2026 04:54:22 +0800

En una línea de 300 mm, una sola marca de agua después de la limpieza es suficiente para condenar un lote entero. Construimos la Lámpara de Secado con Agua Desionizada para eliminar ese modo de fallo, proporcionando una evaporación controlada sin residuos de película ni desviaciones de partículas.

Lo que importa, técnicamente
La lámpara integra emisores de infrarrojo de onda corta dentro de una carcasa sellada compatible con salas limpias. Calienta directamente la superficie del wafer, evitando el retraso propio de la convección. La uniformidad de temperatura en el wafer se mantiene en ±0,1 °C, y la repetibilidad del punto de ajuste se sitúa en ±0,2 °C tras más de 10,000 ciclos de horneado.
El arranque en frío hasta un perfil de horneado estable se logra en menos de 30 segundos, funcionando sin generación de partículas, verificado frente a las referencias ISO Clase 1 a 100. El sistema está diseñado para operación continua 24/7, con retroalimentación térmica predictiva que mantiene la deriva de salida por debajo del 5 % durante 5,000 horas.

Agua on Eco-Friendly Infrared Heating

Lámpara de secado _con agua desionizada