Módulos de calefacción por infrarrojos para fábricas

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

En el área de litografía, basta con un desvío de medio grado en la temperatura durante el proceso de secado del fotorevestimiento para que las líneas que se querían mantener estables se vuelvan inestables. No se puede lograr una alta tasa de producción si los puntos de control varían constantemente. Por eso hemos diseñado módulos de calentamiento por infrarrojos que mantienen el comportamiento térmico dentro de los límites aceptables, turno tras turno.

Lo que es importante desde el punto de vista técnico
Utilizamos emisores de infrarrojos de onda corta con filamentos de respuesta rápida, lo que permite un arranque rápido y un estado estable. La uniformidad a nivel de wafer es de ±0,1°C, y la repetibilidad entre lotes es de ±0,2°C. El control se realiza mediante sistemas de pirometría en bucle cerrado y algoritmos PID, lo que permite correcciones en menos de un segundo, evitando así que la temperatura aumente cuando se abre la puerta del equipo. Los módulos funcionan en salas limpias de clase 1-100, y su estructura de cuarzo/cerámica está diseñada para no generar partículas, sin emisiones gaseosas ni contaminación alguna.

Módulos on Eco-Friendly Infrared Heating

Módulos de calefacción por infrarrojos para fábricas