در فرآیند ساخت ویفرها، تغییرات دما در حین فرآیندهای پخت نرم یا سخت، تنها منجر به توقف فرآیند نمیشود؛ بلکه باعث ایجاد نقصهای واقعی در ویفرها نیز میگردد. در فرآیند پخت نرم، دمای کمتر از حد مورد نیاز، باعث میشود حلالها در رزیستورها باقی بمانند. در فرآیند پخت سخت، دمای بیشتر از حد مورد نیاز، باعث جریان یافتن مایعات در رزیستورها شده و الگوهای موجود روی ویفرها تار میشوند. پیامد این امر، از بین رفتن ویفرها، نیاز به بازسازی آنها، و هدر رفتن انرژی است.
از نظر فنی، چه چیزی مهم است؟ ما یک سیستم گرمایشی طراحی کردهایم که باعث میشود یکنواختی دما در سطح ویفرها، در طول کل فرآیند، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. این امر باعث میشود فرآیند پخت رزیستورها قابل تکرار باشد و کنترل ابعاد مهم نیز پایدار بماند. عناصر پاسخسریع این سیستم، کنترل دقیق دما را ممکن میسازند؛ همچنین این سیستم سازگار با محیطهای تمیزداری کلاس ۱ تا ۱۰۰ است، بدون اینکه ذراتی ایجاد شود. این سیستم میتواند ۲۴ ساعته و بدون هیچ توقفی کار کند؛ همچنین مصرف انرژی آن کم است، بدون اینکه استقرار دما مختل شود.
نکته مهم در فرآیند لیتوگرافی این است که باید پروفایلهای پختی ثابتی وجود داشته باشد تا بتوان از آنها در هر بار تولید استفاده کرد. این سیستم گرمایشی، دما را در حد مورد نیاز نگه میدارد؛ بنابراین پخت نرم به طور یکنواخت انجام میشود و پخت سخت نیز باعث میشود رزیستورها بدون جریان مایعات، در جای خود ثابت بمانند. این امر باعث کاهش تعداد محصولاتی میشود که نیاز به بازسازی دارند، افزایش بازدهی تولید، و کاهش زمان لازم برای تکمیل فرآیند میشود.
صرفهجویی در مصرف انرژی، از طریق گرمایش کارآمد و کاهش هدررفت انرژی در مراحل افزایش/کاهش دما، حاصل میشود؛ این امر هزینههای عملیاتی را کاهش میدهد، در حالی که استقرار دما همچنان پایدار باقی میماند.
نصب و آزمایش سیستم نصب این سیستم، به معنای تطبیق آن با فضای موجود و امکانات لازم برای کارکرد آن است. ما نقشههای مربوط به اتصالات و مستندات لازم برای سازگاری سیستم را در اختیار شما قرار میدهیم تا بتوانید آن را مستقیماً نصب کنید.
لازم است یک آزمایش کوتاه انجام شود تا پروفایلهای پخت مورد نیاز تعیین شوند. این سیستم بسیار مقاوم است، اما همچنان نیاز به کالیبراسیون دورهای وجود دارد؛ بنابراین باید آن را مانند سایر سنسورهای مورد استفاده در فرآیندهای تولید، مدیریت کرد.