در کارخانههای تولید، ریتم کاری ۲۴ ساعته و ۷ روز هفته، اجازه نمیدهد که دمای محیط تغییر کند. حرارت دادن در دمای ۹۵ درجه سانتیگراد برای فرآیندهای نرم، و در دمای ۱۱۰ درجه سانتیگراد برای فرآیندهای سخت؛ این دماها مشخصکننده میزان کنترل ضخامت لایههای مربوطه و همچنین میزان نقصهای احتمالی هستند. اگر یکنواختی دما بیشتر از ±۰٫۵ درجه سانتیگراد شود، منجر به افزایش نقصها و مشکلات دیگر خواهد شد.
ما هسته حرارتی خود را طوری طراحی کردهایم که نیازهای واقعی تجهیزات نیمههادی را برآورده کند؛ این هسته حرارتی قابل استفاده در فرآیندهای فوتولیتوگرافی و ابزارهای بستهبندی پیشرفته است، و کاملاً آزمایش شده است.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟ گرمکنهای بدون هالوژن ما، که برای نور مادون قرمز تنظیم شدهاند، یکنواختی دما را در سطح ویفرها در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد، در سطوح ۱۵۰ میلیمتر و ۲۰۰ میلیمتر، حفظ میکنند؛ همچنین، تکرارپذیری دما در محدوده ±۰٫۰۵ درجه سانتیگراد است.
این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است؛ همچنین، پس از رسیدن به حالت پایدار، هیچ ذرهای بزرگتر از ۰٫۱ میکرومتر وجود نخواهد داشت. عایقبندی با الیاف کربن، مصرف انرژی را تا ۲۵ درصد کاهش میدهد؛ همچنین، میتوان دما را با سرعت ۱۰ درجه سانتیگراد در ثانیه تغییر داد، بدون اینکه مشکلی ایجاد شود.
پنجرههای کوارتزی و کانکتورهای استاندارد، با استانداردهای SEMI سازگار هستند.
چرا این سیستم در کارخانههای تولید مفید است؟ در بخش فوتولیتوگرافی، این کنترل حرارتی باعث کاهش نوسانات دما و کاهش تعداد محصولات ناقص میشود. در خطوط بستهبندی نیز، این سیستم باعث استابیل شدن دما در فرآیندهای لازم برای تولید محصولات میشود؛ در نتیجه، تعداد حفرهها و مشکلات دیگر کاهش مییابد.
قابلیت اطمینان این سیستم، با MTBF بالاتر از ۱۰٬۰۰۰ ساعت، و عدم وجود توقفات غیرمنتظره در طول فرآیندهای تولید، مشخص میشود. همچنین، این سیستم باعث کاهش هزینهها و پیشبینیپذیری مصرف انرژی میشود، بدون اینکه نیازی به تغییر روشهای فعلی تولید باشد.
چه چیزهایی برای برنامهریزی لازم است؟ برای نصب این سیستم، به یک مدار تغذیه ۲۴ ولت DC ویژه، همراه با مسیر تخلیه گاز مناسب برای هسته حرارتی، نیاز است. برای تنظیم دقیق پارامترهای حرارتی، حدود ۲۴ ساعت زمان لازم است.
این سیستم با استانداردهای SEMI سازگار است؛ اما اگر قصد استفاده از آن با کنترلکنندههای قدیمی را دارید، ممکن است نیاز به بهروزرسانی پروتکلهای ارتباطی باشد. ما مشخصات ارتباطی و خدمات راهاندازی را فراهم میکنیم، تا تغییرات به صورت مدیریتشده انجام شود.