در فرآیند لیتوگرافی، کافی است که میزان گرمای تولید شده در حین پخت فوتورزیست، نیم درجه تغییر کند؛ این موضوع میتواند باعث اختلال در خطوط تولید شود. نمیتوان با استفاده از مقادیر ثابت برای کنترل دما، به دستیابی به بازدهی خوبی رسید. بنابراین ما ماژولهای گرمایشی مادونقرمزی ساختیم که رفتار حرارتی را در محدوده مشخصی نگه میدارند.
از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟
ما از فرستندههای مادونقرمز با فیلامنتهای پاسخسریع استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که دما به سرعت افزایش یابد و وضعیت پایداری حفظ شود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تکرارپذیری بین دستههای مختلف، در حد ±۰.۲ درجه سانتیگراد است. کنترل دما توسط سیستمهای پیرومتری و PID انجام میشود؛ این سیستمها اصلاحات لازم را در کمتر از یک ثانیه انجام میدهند. ماژولها در محیطهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ قرار دارند؛ همچنین ساختار کوارتز/سرامیکی این ماژولها به گونهای طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود؛ یعنی هیچ گازی خارج نمیشود، هیچ ترکیبی روی سطح ویفر ایجاد نمیشود و هیچ آلودگیای وجود ندارد.
چرا این روش در فرآیند فوتورزیست مؤثر است؟
روشهای پخت ملایم و شدید، باعث حذف حلالها و پیونددهی پلیمرها میشوند. فرکانس مادونقرمز مورد استفاده، زمان پخت را کاهش میدهد؛ در عین حال کنترل ابعاد کلیدی نیز حفظ میشود. پاسخ سریع فرستندهها، باعث کاهش گرمای اضافی میشود؛ بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد، بدون اینکه بازدهی فرآیند تحت تأثیر قرار بگیرد.
قابلیت اطمینان این سیستم چگونه است؟
ماژولها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند و تغییرات بازدهی آنها کمتر از ۵٪ بوده است. ماژولها قابل جایگزینی هستند؛ بنابراین فرآیند تولید ادامه خواهد داشت.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
بهترین عملکرد زمانی حاصل میشود که طیف فرستنده با میزان جذب نور توسط فوتورزیست مطابقت داشته باشد؛ همچنین باید ساختار ماژولها با رابطهای مکانیکی و سیستمهای خنککننده ابزار مورد استفاده، سازگار باشد. برای تنظیم سیستم PID و تأیید یکنواختی روی سطح ویفر، باید یک دسته کوچک از محصولات را آزمایش کرد. پس از تنظیم صحیح، رفتار حرارتی در محدوده مشخصی باقی خواهد ماند.