در خط تولید، فرآیند حرارتدهی به فوتورزیست، صرفاً یک مرحله عادی نیست؛ بلکه نقش مهمی در کنترل ابعاد مهم قطعات ایفا میکند. اگر تغییر دما ۲ درجه سانتیگرادی رخ دهد، کل فرآیند لیتوگرافی دچار اختلال میشود. در چنین شرایطی، خط تولید باید سعی کند استانداردهای مشخص شده را حفظ کند.
ما لامپهای حرارتدهی مناسبی طراحی کردهایم تا این پارامترهای حرارتی در طول فرآیند تولید ثابت بمانند.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟
ما از روش گرمایش نزدیک به مادون قرمز برای دستیابی به یکنواختی حرارتی در سطح ویفر استفاده میکنیم؛ این روش باعث میشود دما در سراسر سطح ویفر یکنواخت باشد. همچنین، انرژی لازم برای حرارتدهی به سرعت ارائه میشود، بدون اینکه سطح ویفر آسیب ببیند. دما نیز در سراسر سطح ویفر یکنواخت است و بازیابی سریع بین دفعات تولید نیز امکانپذیر است.
چرا این روش در لیتوگرافی مهم است؟
فرآیند حرارتدهی به فوتورزیست، تأثیر مستقیمی بر حذف حلالها و چسبندگی لایههای فوتورزیست به سطح ویفر دارد. با استفاده از این لامپها، میتوان به یکنواختی حرارتی در سطح ویفر دست یافت؛ همچنین، عملکرد سیستم در محیطهای پاک نیز بهبود مییابد و تولید ذرات ناخواسته نیز از بین میرود. در نتیجه، بازده تولید بالا میماند و مقدار مواد باکیفیت کمتری از بین میرود.
این سیستم ۲۴/۷ کار میکند و خروجی قابل پیشبینی دارد؛ بنابراین، قطعیهای غیرمنتظره کاهش مییابد. شما نیز زمان کمتری برای تنظیم پارامترهای حرارتی صرف میکنید و زمان بیشتری را برای تولید محصولات با کیفیت صرف میکنید.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح سیستم ضروری است؟
لامپهای نزدیک به مادون قرمز باید به دقت در سیستم حرارتدهی نصب شوند؛ همچنین، سیستم خنککننگ مناسب و محافظت مناسب برای جلوگیری از آسیب به لنزها و مواد اطراف ضروری است. استفاده از برق پاک و مدیریت مناسب حرارت نیز برای حفظ یکنواختی حرارتی ضروری است.
ما راهنماییهای لازم برای نصب صحیح لامپها را ارائه میدهیم تا از همان روز اول، لامپها بتوانند کار خود را به درستی انجام دهند. همچنین، اندازه سیستم نیز بر اساس مشخصات فضای تولید و اهداف تولیدی شما تنظیم میشود.