متوقف کردن فاجعه ناشی از پارگی لامپهای مادون قرمز در فرآیند تولید ویفرها
بیایید صادق باشیم: در سیستمهای نیمههادی با بار کاری بالا، پارگی لامپهای مادون قرمز چیزی فراتر از یک اختلال فنی است؛ بلکه یک فاجعه واقعی محسوب میشود.
وقتی که لوله کوارتزی خراب میشود، مشکل فقط توقف کار نیست؛ بلکه شیشههای خرد شده و گاز هالوژن نیز به روی ویفرها میریزند. یک بار پارگی کافی است تا کل محموله ویفرها از بین برود. این روش، روشی وحشتناک برای از دست دادن کار یک روزه است.
دقیقاً به همین دلیل است که ما از جعبههای گرمایشی ساخته شده از فولاد ضدزنگ استفاده میکنیم؛ ما میخواستیم راهی برای کنترل این فضولات پیدا کنیم.
سیستم ایمنی
میتوانیم این جعبهها را مانند یک پوشش حفاظتی در نظر بگیریم؛ ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا استفاده میکنیم تا یک دیوار فیزیکی محکم بین لامپ و قطعات کاری ایجاد شود.
اگر لامپ به دلیل فشار حرارتی خراب شود، این جعبه تمام ضایعات را در خود نگه میدارد؛ ضایعات به داخل منطقه تولید راه نمییابند و ویفرها تمیز باقی میمانند.
مقابله با گرما
ما از فولاد ضدزنگ استفاده کردیم؛ زیرا این ماده میتواند گرما را به خوبی تحمل کند، اما گرما را به سرعت مانند آلومینیوم دفع نمیکند.
این یک انتخاب عمدی است؛ این کار باعث میشود جعبه در برابر فشارهای حرارتی مقاومت کند. ما زمان زیادی را صرف تنظیم ضخامت دیوارهها کردیم تا جعبه به اندازه کافی محکم باشد، اما در عین حال مانع از انتقال بیش از حد انرژی مادون قرمز نشود.
نکته مهمی که باید در نظر داشته باشید این است که گرما واقعاً وجود دارد؛ از آنجایی که جعبه بخشی از انرژی را در خود نگه میدارد، باید مطمئن شوید که سیستمهای خنککننده شما کارایی لازم را دارند. اگر جریان هوا ضعیف باشد، اتصالات میتوانند بسیار داغ شوند.
ساده کردن فرآیند
هیچ کس نمیخواهد فقط برای تعمیر یک لامپ، کل ماشین را تعمیر کند؛ بنابراین ما این جعبهها را به گونهای طراحی کردیم که تعویض آنها آسان باشد.
کافی است جعبه را بیرون بکشید، لامپ جدیدی را در جای آن قرار دهید و دوباره آن را در جای خود قرار دهید؛ این کار خیلی سریع انجام میشود. این کار باعث میشود فضای مورد نیاز برای نگهداری ماشین کمتر شود.
در نهایت، ما بیشتر به جلوگیری از ورود ضایعات به ویفرها اهمیت میدهیم؛ البته این یک توازن است، اما این توازن به شما کمک میکند تا از هدر رفت هزاران دلار هزینه تولید جلوگیری کنید.