چرا از لامپهای مادون قرمز ضدآب در خطوط تولید نیمههادی استفاده میکنیم؟
بیایید درباره فرآیند شستشو و خشک کردن در تولید نیمههادی صحبت کنیم. اگر تجربه کار در چنین خطوطی را داشته باشید، میدانید که این فرآیند معمولاً عاملی برای کند شدن کل فرآیند تولید است؛ یعنی یک مانع بزرگ.
برای حل این مشکل، از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم. این لامپها بهترین ابزار برای خشک کردن ویفرها هستند؛ بدون اینکه سطح ویفر آسیب ببیند یا آلایندههایی روی آن باقی بماند.
مشکلات فرآیندهای خشک کردن سنتی
در گذشته، از فرآیندهای خشک کردن مبتنی بر گرمای هوا استفاده میشد. اما تصور کنید: برای خشک کردن یک ویفر کوچک، باید مقدار زیادی هوا را گرم کنید؛ این کار اتلاف انرژی است.
لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها از امواج الکترومغناطیسی برای خشک کردن رطوبت روی سطح ویفر استفاده میکنند. در نتیجه، نیازی به استفاده از مواد شیمیایی یا افزودنیهای حاوی سرب نیست. این روش، روشی تمیز و مؤثر است.
مقابله با رطوبت
مشکل اینجاست که این لامپها درست بعد از ایستگاه شستشو قرار دارند؛ بنابراین مدام در معرض رطوبت و ابرهای شیمیایی قرار دارند. این محیط بسیار سختی است.
اگر یک لوله کوارتز عادی در حالت داغ مورد تأثیر آب قرار بگیرد، فوراً خراب خواهد شد. برای جلوگیری از این اتفاق، از پوششهای ویژه کوارتزی و درپوشهای بسته استفاده میکنیم؛ این کار مانع ورود رطوبت به داخل لامپ میشود.
همچنین، از لامپهای مادون قرمز با موج طول کوتاه استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون این لامپها میتوانند رطوبت را در عرض چند ثانیه از سطح ویفر پاک کنند. این روش بسیار سریع است؛ در نتیجه، تجهیزات مربوطه نیاز به فضای کمتری دارند.
مشکل دیگر: مدیریت گرما
البته، یک معایب این روش وجود دارد؛ لامپهای مادون قرمز با توان بالا، مقدار زیادی گرما تولید میکنند. نمیتوانیم این لامپها را به سادگی وصل کنیم و از آنها استفاده کنیم.
اگر سیستم خنککننگ مناسبی نداشته باشید، بدنه تجهیزات شروع به تغییر شکل خواهد کرد. حتی بدتر از آن، لامپها به دلیل گرمای زیاد، زودتر خراب خواهند شد. بنابراین، باید سیستم خنککننگ مناسبی داشته باشیم؛ در غیر این صورت، پولمان صرف خرید قطعات یدکی خواهد شد.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای معمولی شوند. با تنظیم طول موج لامپ، میتوانیم ویفر را به طور کامل خشک کنیم، بدون اینکه سطح ویفر دچار گرمای بیش از حد شود. این روش واقعاً مؤثر است.