<?xml version="1.0" encoding="utf-8" standalone="yes"?>
<rss version="2.0" xmlns:atom="http://www.w3.org/2005/Atom">
	<channel>
		<title>فاب on Eco-Friendly Infrared Heating</title>
		<link>http://eco-ir-heat.com/fa/tags/%D9%81%D8%A7%D8%A8/</link>
		<description>Recent content in فاب on Eco-Friendly Infrared Heating</description>
		<generator>Hugo</generator>
		<language>fa</language>
		
		
		
		
			<lastBuildDate>Tue, 28 Jul 2026 05:02:13 +0800</lastBuildDate>
		
			<atom:link href="http://eco-ir-heat.com/fa/tags/%D9%81%D8%A7%D8%A8/index.xml" rel="self" type="application/rss+xml" />
			<item>
				<title>تولیدکننده مطمئن لامپ خشککن مادون قرمز</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/reducing-time-costs-in-semiconductor-fab-infrared-curing-vs-hot-air-circulation/</link>
				<pubDate>Tue, 28 Jul 2026 05:02:13 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/reducing-time-costs-in-semiconductor-fab-infrared-curing-vs-hot-air-circulation/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png&#34; alt=&#34;تولیدکننده مطمئن لامپ خشککن مادون قرمز&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;دیگر نیازی نیست منتظر فر کار کند باشید؛ چرا که روش درمان با امواج مادون قرمز واقعاً مؤثر است.&lt;br&gt;&#xA;اگر هنوز به روش گردش هوای گرم تکیه می‌کنید، در واقع در حال صرف وقت بیهوده هستید. شما هوا را گرم می‌کنید، سپس منتظر می‌مانید تا آن هوا ویفر را گرم کند. این روش بسیار آهسته است. در کارخانه‌های تولید تراشه، این تأخیر می‌تواند مشکلات بزرگی ایجاد کند.&lt;br&gt;&#xA;ما از لامپ‌های درمانی مبتنی بر امواج مادون قرمز استفاده کردیم تا این مشکل را از بین ببریم. به جای استفاده از روش گردش هوا، از تابش انرژی استفاده می‌کنیم.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;ارسال انرژی به جای مناسب&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;لامپ‌های مادون قرمز، امواج الکترومغناطیسی را ارسال می‌کنند که مستقیماً به سطح ویفر برخورد می‌کنند. شما نیازی نیست منتظر بمانید تا کل اتاق به دمای مورد نظر برسد؛ انرژی بلافاصله به سطح ویفر منتقل می‌شود.&lt;br&gt;&#xA;این روش، زمان لازم برای گرم شدن ویفر را از دقایق به ثوانی کاهش می‌دهد. با استفاده از این روش، می‌توانید از این «تأخیر حرارتی» که در فرهای قدیمی وجود داشت، خلاص شوید.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;تولید ویفرهای بیشتر، کمترین هزینه&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;سیستم‌های استفاده از هوای گرم، حجیم هستند؛ برای قرار دادن فن‌ها و دستگاه‌های تبادل حرارت، به فضای زیادی نیاز است.&lt;br&gt;&#xA;اما لامپ‌های مادون قرمز، بسیار کوچک هستند؛ می‌توان آن‌ها را درون دستگاه قرار داد. علاوه بر این، فقط بخشی از ویفر که مورد نظر است گرم می‌شود، نه کل اتاق.&lt;br&gt;&#xA;این یک مسئله ساده ریاضی است: چرخه‌های درمان سریع‌تر، به معنای تولید ویفرهای بیشتر در هر ساعت است. زمان لازم برای گرم شدن ویفر کمتر می‌شود و هزینه تولید هر واحد نیز کاهش می‌یابد.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;معایب این روش (چون همیشه معایبی وجود دارد)&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;البته، روش مادون قرمز جادویی نیست؛ چون انرژی به سرعت ارسال می‌شود، اگر کنترل‌کننده‌های PID به درستی تنظیم نشوند، می‌تواند دمای ویفر از حد مورد نظر فراتر رود.&lt;br&gt;&#xA;همچنین، باید مراقب انتقال حرارت به بخش‌های دیگر دستگاه باشید؛ اگر سیستم تهویه دستگاه مناسب نباشد، ممکن است الکترونیک‌های داخل دستگاه آسیب ببینند. برای جلوگیری از این امر، به فن‌های خنک‌کننده نیاز دارید که بتوانند با سرعت انرژی را خنک کنند؛ در غیر این صورت، لامپ‌ها زودتر خراب خواهند شد.&lt;br&gt;&#xA;توصیه من این است که از ترموکوپل‌های پاسخسنده برای کنترل دما استفاده کنید و فاصله بین لامپ و ویفر را کم نگه دارید. این روش، بهترین راه برای استفاده بهینه از انرژی تابشی است.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>راهحلهای تولید پایدار</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/maximizing-radiant-heat-flux-in-wafer-fabrication-via-gold-coated-reflector-technology/</link>
				<pubDate>Mon, 27 Jul 2026 03:44:36 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/maximizing-radiant-heat-flux-in-wafer-fabrication-via-gold-coated-reflector-technology/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png&#34; alt=&#34;راهحلهای تولید پایدار&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;h1 id=&#34;متوقف-کنید-هدر-رفت-انرژی-در-فرآیند-تولید-ویفرها&#34;&gt;متوقف کنید هدر رفت انرژی در فرآیند تولید ویفرها!&lt;/h1&gt;&#xA;&lt;p&gt;بیایید صادق باشیم: هدر رفت انرژی در فرآیند تولید ویفرها، در واقع هدر دادن پول است. وقتی از لامپ‌های مادون قرمز با توان بالا برای پخت یا خشک کردن ویفرها استفاده می‌کنیم، مقدار زیادی از انرژی صرفاً از بین می‌رود. این انرژی یا به عنوان گرمای اضافی از بین می‌رود، یا از سطح ویفر منعکس می‌شود. این موضوع واقعاً ناامیدکننده است.&lt;br&gt;&#xA;ما راهی برای حل این مشکل پیدا کرده‌ایم. راز آن، استفاده از لایه‌ای از طلا با خلوص بالا روی ساختار بازتابنده است.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>بازرسی انرژی برای خشککن کارخانه</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/achieving-zero-contamination-heating-in-class-100-cleanrooms-with-high-purity-quartz-ir-lamps/</link>
				<pubDate>Sat, 25 Jul 2026 04:34:41 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/achieving-zero-contamination-heating-in-class-100-cleanrooms-with-high-purity-quartz-ir-lamps/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png&#34; alt=&#34;بازرسی انرژی برای خشککن کارخانه&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;دیگر اجازه ندهید که دستگاه‌های گرمایشی، باعث کاهش بازدهی شما شوند.&lt;br&gt;&#xA;اگر از اتاق‌های پاکسازی درجه ۱۰۰ استفاده می‌کنید، حتماً می‌دانید که چقدر این وضعیت آزاردهنده است. حتی یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی گاز، می‌تواند باعث کاهش بازدهی شما شود. این موضوع بسیار ناامیدکننده است؛ به‌خصوص وقتی که همان ابزارهایی که برای خشک کردن ویفرها یا قطعات ساخته شده با آن‌ها استفاده می‌شود، خودشان منشأ ذراتی هستند که وارد فضای کاری شما می‌شوند.&lt;br&gt;&#xA;به همین دلیل، ما به استفاده از لامپ‌های IR سنتتیک با خلوص بالا روی آوردیم.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;راز، در خود کوارتز است.&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;ما از کوارتز ترکیبی با کمترین میزان ناخالصی استفاده می‌کنیم. چرا؟ چون وقتی مواد گرم می‌شوند، مواد ارزان‌قیمت شروع به آزاد کردن یون‌های فلزی یا ترکیبات آلی می‌کنند؛ این موضوع خوب نیست. کوارتز، برخلاف آن دستگاه‌های گرمایشی، اکسید نمی‌شود و تکه‌تکه نمی‌شود.&lt;br&gt;&#xA;علاوه بر این، این لامپ‌ها از حرارت تابشی برای گرم کردن سطوح استفاده می‌کنند؛ بنابراین هوای اطراف تحت تأثیر قرار نمی‌گیرد و جریان هوا در جای مناسب خود باقی می‌ماند.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;سرعت، بسیار مهم است.&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;این لامپ‌ها برای افزایش سرعت گرم کردن سطوح طراحی شده‌اند. با قرار دادن رشته‌های الکتریکی درون لوله‌های کوارتزی پر از خلأ، می‌توانیم تابش IR با امواج کوتاه دریافت کنیم. شما می‌توانید سطوح را در عرض چند ثانیه خشک کنید؛ دیگر نیازی نیست مدت‌ها صبر کنید تا سطوح خشک شوند.&lt;br&gt;&#xA;اما یک نکته مهم: مراقب تراکم انرژی باشید؛ اگر مقدار زیادی توان از طریق لوله‌های کوتاه منتقل شود، ممکن است گرمای زیادی ایجاد شود. مطمئن شوید که سیستم خنک‌کننده دستگاه شما قادر به مقابله با این گرما باشد؛ در غیر این صورت، ممکن است ساختار دستگاه شما دچار تغییر شکل شود.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;نحوه استفاده از این لامپ‌ها&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;ما این لامپ‌ها را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که بتوانند به جای لامپ‌های معمولی، به راحتی جایگزین شوند.&lt;br&gt;&#xA;در اکثر سیستم‌ها، مشکلات از نقاط اتصالات ایجاد می‌شود؛ ما این مشکل را با استفاده از درپوش‌های ویژه برطرف کرده‌ایم؛ این درپوش‌ها از نشت هوا و ورود ذرات به داخل دستگاه جلوگیری می‌کنند.&lt;br&gt;&#xA;یک نکته دیگر: کوارتز در هنگام گرم شدن، اندازه‌اش افزایش می‌یابد؛ اگر اتصالات الکتریکی بیش از حد سفت باشند، لامپ ممکن است شل شود یا حتی در حین کار دچار مشکل شود. ما توصیه می‌کنیم از هولدرهای فنری برای نگه داشتن لامپ استفاده کنید؛ این کار باعث می‌شود اتصالات محکم بمانند، توان الکتریکی ثابت باقی بماند و خط تولید شما بدون مشکل کار کند.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>ساخت محفظه گرمکن فولاد ضدزنگ</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/stainless-steel-heater-housing-fab/</link>
				<pubDate>Tue, 21 Jul 2026 09:42:41 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/stainless-steel-heater-housing-fab/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png&#34; alt=&#34;ساخت محفظه گرمکن فولاد ضدزنگ&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;متوقف کردن فاجعه ناشی از پارگی لامپ‌های مادون قرمز در فرآیند تولید ویفرها&lt;br&gt;&#xA;بیایید صادق باشیم: در سیستم‌های نیمه‌هادی با بار کاری بالا، پارگی لامپ‌های مادون قرمز چیزی فراتر از یک اختلال فنی است؛ بلکه یک فاجعه واقعی محسوب می‌شود.&lt;br&gt;&#xA;وقتی که لوله کوارتزی خراب می‌شود، مشکل فقط توقف کار نیست؛ بلکه شیشه‌های خرد شده و گاز هالوژن نیز به روی ویفرها می‌ریزند. یک بار پارگی کافی است تا کل محموله ویفرها از بین برود. این روش، روشی وحشتناک برای از دست دادن کار یک روزه است.&lt;br&gt;&#xA;دقیقاً به همین دلیل است که ما از جعبه‌های گرمایشی ساخته شده از فولاد ضدزنگ استفاده می‌کنیم؛ ما می‌خواستیم راهی برای کنترل این فضولات پیدا کنیم.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;سیستم ایمنی&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;می‌توانیم این جعبه‌ها را مانند یک پوشش حفاظتی در نظر بگیریم؛ ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا استفاده می‌کنیم تا یک دیوار فیزیکی محکم بین لامپ و قطعات کاری ایجاد شود.&lt;br&gt;&#xA;اگر لامپ به دلیل فشار حرارتی خراب شود، این جعبه تمام ضایعات را در خود نگه می‌دارد؛ ضایعات به داخل منطقه تولید راه نمی‌یابند و ویفرها تمیز باقی می‌مانند.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;مقابله با گرما&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;ما از فولاد ضدزنگ استفاده کردیم؛ زیرا این ماده می‌تواند گرما را به خوبی تحمل کند، اما گرما را به سرعت مانند آلومینیوم دفع نمی‌کند.&lt;br&gt;&#xA;این یک انتخاب عمدی است؛ این کار باعث می‌شود جعبه در برابر فشارهای حرارتی مقاومت کند. ما زمان زیادی را صرف تنظیم ضخامت دیواره‌ها کردیم تا جعبه به اندازه کافی محکم باشد، اما در عین حال مانع از انتقال بیش از حد انرژی مادون قرمز نشود.&lt;br&gt;&#xA;نکته مهمی که باید در نظر داشته باشید این است که گرما واقعاً وجود دارد؛ از آنجایی که جعبه بخشی از انرژی را در خود نگه می‌دارد، باید مطمئن شوید که سیستم‌های خنک‌کننده شما کارایی لازم را دارند. اگر جریان هوا ضعیف باشد، اتصالات می‌توانند بسیار داغ شوند.&lt;br&gt;&#xA;&lt;strong&gt;ساده کردن فرآیند&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;هیچ کس نمی‌خواهد فقط برای تعمیر یک لامپ، کل ماشین را تعمیر کند؛ بنابراین ما این جعبه‌ها را به گونه‌ای طراحی کردیم که تعویض آن‌ها آسان باشد.&lt;br&gt;&#xA;کافی است جعبه را بیرون بکشید، لامپ جدیدی را در جای آن قرار دهید و دوباره آن را در جای خود قرار دهید؛ این کار خیلی سریع انجام می‌شود. این کار باعث می‌شود فضای مورد نیاز برای نگهداری ماشین کمتر شود.&lt;br&gt;&#xA;در نهایت، ما بیشتر به جلوگیری از ورود ضایعات به ویفرها اهمیت می‌دهیم؛ البته این یک توازن است، اما این توازن به شما کمک می‌کند تا از هدر رفت هزاران دلار هزینه تولید جلوگیری کنید.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>سپر شیشهای کوارتز برای لامپ فابریکاسیون</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/</link>
				<pubDate>Sat, 18 Jul 2026 03:55:41 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png&#34; alt=&#34;سپر شیشهای کوارتز برای لامپ فابریکاسیون&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;چگونه از سپرهای شیشه‌ای کوارتز برای لامپ‌های مادون قرمز در فرآیندهای تولید استفاده کنیم؟&lt;br&gt;&#xA;اگر قصد استفاده از روش خشک‌کردن با استفاده از نیمه‌هادی‌ها را دارید، استفاده از لامپ‌های مادون قرمز بهترین روش موجود است. چرا؟ زیرا این روش اجازه می‌دهد که از استفاده از مواد شیمیایی مضر خودداری شود و همچنین از مصرف بیش از حد انرژی جلوگیری می‌شود.&lt;br&gt;&#xA;اما مشکل اینجاست که نمی‌توان لامپ‌های مادون قرمز را بدون سپر قرار داد. در اینجاست که سپرهای شیشه‌ای کوارتز به کار می‌آیند؛ آن‌ها لامپ‌ها را تمیز نگه می‌دارند و اطمینان حاصل می‌کنند که گرمای وارد شده به ویفر در میزان مناسبی باشد.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>بهروزرسانی تجهیزات اتاقهای پاک در کارخانه</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/</link>
				<pubDate>Tue, 14 Jul 2026 10:49:47 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/clean-room-equipment-upgrades-fab/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png&#34; alt=&#34;بهروزرسانی تجهیزات اتاقهای پاک در کارخانه&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;جلوگیری از پدیده شرپنل: حفظ تمیزی کارخانه در صورت خرابی لامپ‌های مادون قرمز&lt;br&gt;&#xA;بیایید صادق باشیم؛ در یک کارخانه تولید نیمه‌هادی، خرابی لامپ فقط یک مشکل فنی ساده نیست، بلکه یک فاجعه است.&lt;br&gt;&#xA;در یک لحظه همه چیز درست است، اما در لحظه بعد، تکه‌های کوارتز و ذرات فلزی روی ویفرها می‌افتند. این وضعیت منجر به توقف تولید می‌شود؛ همچنین نیاز به تمیزکاری گسترده وجود دارد، و محصولات تولید شده نیز بی‌فایده خواهند بود.&lt;br&gt;&#xA;وقتی که تولید در حالت بالا انجام می‌شود، لامپ‌های مادون قرمز تحت فشار زیادی قرار می‌گیرند. ما لامپ‌هایی را طراحی کرده‌ایم که بتوانند این فشارها را تحمل کنند؛ تا شما نگران تبدیل شدن کارخانه به یک منطقه فاجعه‌بار نباشید.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>تأمینکننده قطعات یدکی برای تولید فاب</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/fab-manufacturing-spares-distributor/</link>
				<pubDate>Sun, 05 Jul 2026 11:47:32 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/fab-manufacturing-spares-distributor/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png&#34; alt=&#34;تأمینکننده قطعات یدکی برای تولید فاب&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;مقدمه&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;بیایید مستقیماً به موضوع بپردازیم. ما این لامپ‌های گرمایشی مادون قرمز را ساختیم؛ زیرا مهندسان کارخانه‌های تولیدی سزاوار انتخابی واقعی هستند؛ انتخابی که نیازی به ترجیح دادن بین عملکرد بالا و بودجه محدود نباشد.&lt;br&gt;&#xA;هدف ما این بود که همان کیفیت طیفی و توان گرمایشی مشابه برندهای بزرگ بین‌المللی را فراهم کنیم، اما بدون قیمت بالا. این یک جایگزین ضعیف نیست؛ بلکه جایگزینی مناسب برای سیستم‌های پیشرفته موجود در کارخانه‌های شماست.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;جزئیات فنی&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;ما این لامپ‌ها را به گونه‌ای طراحی کرده‌ایم که بتوانند با الزامات خطوط تولید پرفشار سازگار شوند. توان بالا و ولتاژ ۴۰۰ ولت، چیزهای تصادفی نیستند؛ بلکه دلایل مشخصی برای استفاده از آن‌ها وجود دارد.&lt;br&gt;&#xA;این لامپ‌ها باعث افزایش سرعت گرم شدن و تولید انرژی بالا می‌شوند؛ یعنی چگالی حرارتی مورد نیاز برای فرآیندهای سریع را فراهم می‌کنند. همچنین، این لامپ‌ها به سرعت به دمای مورد نظر می‌رسند و آن دما را حفظ می‌کنند.&lt;br&gt;&#xA;طول ۳۰۰ میلی‌متری این لامپ‌ها نیز استاندارد است؛ بنابراین می‌توانید آن‌ها را مستقیماً در دستگاه‌های موجود خود نصب کنید. نیازی به تغییر در ساختار دستگاه‌ها نیست.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
			<item>
				<title>ماژولهای گرمایش مادون قرمز برای فابریک</title>
				<link>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/infrared-heating-modules-for-fab/</link>
				<pubDate>Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800</pubDate>
				<guid>http://eco-ir-heat.com/fa/posts/infrared-heating-modules-for-fab/</guid>
				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png&#34; alt=&#34;ماژولهای گرمایش مادون قرمز برای فابریک&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;در فرآیند لیتوگرافی، کافی است که میزان گرمای تولید شده در حین پخت فوتورزیست، نیم درجه تغییر کند؛ این موضوع می‌تواند باعث اختلال در خطوط تولید شود. نمی‌توان با استفاده از مقادیر ثابت برای کنترل دما، به دستیابی به بازدهی خوبی رسید. بنابراین ما ماژول‌های گرمایشی مادون‌قرمزی ساختیم که رفتار حرارتی را در محدوده مشخصی نگه می‌دارند.&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;ما از فرستنده‌های مادون‌قرمز با فیلامنت‌های پاسخ‌سریع استفاده می‌کنیم؛ این کار باعث می‌شود که دما به سرعت افزایش یابد و وضعیت پایداری حفظ شود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین تکرارپذیری بین دسته‌های مختلف، در حد ±۰.۲ درجه سانتی‌گراد است. کنترل دما توسط سیستم‌های پیرومتری و PID انجام می‌شود؛ این سیستم‌ها اصلاحات لازم را در کمتر از یک ثانیه انجام می‌دهند. ماژول‌ها در محیط‌های تمیز کلاس ۱-۱۰۰ قرار دارند؛ همچنین ساختار کوارتز/سرامیکی این ماژول‌ها به گونه‌ای طراحی شده که هیچ ذره‌ای تولید نشود؛ یعنی هیچ گازی خارج نمی‌شود، هیچ ترکیبی روی سطح ویفر ایجاد نمی‌شود و هیچ آلودگی‌ای وجود ندارد.&lt;/p&gt;</description>
			</item>
	</channel>
</rss>
