http://eco-ir-heat.com/fa/tags/modules/ Recent content in Modules on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo fa Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/fa/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/fa/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ماژولهای گرمایش مادون قرمز برای فابریک"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، کافی است که میزان گرمای تولید شده در حین پخت فوتورزیست، نیم درجه تغییر کند؛ این موضوع می‌تواند باعث اختلال در خطوط تولید شود. نمی‌توان با استفاده از مقادیر ثابت برای کنترل دما، به دستیابی به بازدهی خوبی رسید. بنابراین ما ماژول‌های گرمایشی مادون‌قرمزی ساختیم که رفتار حرارتی را در محدوده مشخصی نگه می‌دارند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی مهم هستند؟</strong><br> ما از فرستنده‌های مادون‌قرمز با فیلامنت‌های پاسخ‌سریع استفاده می‌کنیم؛ این کار باعث می‌شود که دما به سرعت افزایش یابد و وضعیت پایداری حفظ شود. در سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است؛ همچنین تکرارپذیری بین دسته‌های مختلف، در حد ±۰.۲ درجه سانتی‌گراد است. کنترل دما توسط سیستم‌های پیرومتری و PID انجام می‌شود؛ این سیستم‌ها اصلاحات لازم را در کمتر از یک ثانیه انجام می‌دهند. ماژول‌ها در محیط‌های تمیز کلاس ۱-۱۰۰ قرار دارند؛ همچنین ساختار کوارتز/سرامیکی این ماژول‌ها به گونه‌ای طراحی شده که هیچ ذره‌ای تولید نشود؛ یعنی هیچ گازی خارج نمی‌شود، هیچ ترکیبی روی سطح ویفر ایجاد نمی‌شود و هیچ آلودگی‌ای وجود ندارد.</p>