Comment maintenir des semi-conducteurs propres pendant le chauffage
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous savez déjà que les filtres à air ne suffisent pas. Le véritable problème, c’est ce que l’on ne peut pas voir.
La plupart des lampes infrarouges présentent des défauts : leurs revêtements s’effritent, ou le quartz finit par se détériorer sous l’effet de la chaleur, ce qui provoque l’apparition de petites particules sur vos wafer en silicium. C’est un vrai cauchemar.
Pourquoi nous utilisons de l’or
Nous avons choisi un revêtement en or de haute pureté pour éviter ce problème. L’or est idéal, car il ne s’oxyde pas. Contrairement aux réflecteurs bon marché qui se détériorent avec le temps, l’or reste stable, même lorsqu’il fait très chaud. Il dirige les radiations infra-rouges exactement là où elles doivent aller, sans gaspiller d’énergie.
Les détails concernant les matériaux
Le noyau de la lampe est constitué de quartz synthétique de haute pureté. Nous utilisons ce matériau afin qu’aucune substance ne s’échappe pendant le cycle de chauffage. Aucune tache chimique, aucune imperfection sur les wafer. Seulement une chaleur propre.
L’or est appliqué par dépôt sous vide. Cela permet de créer un lien solide entre l’or et le quartz. Le revêtement ne s’effrite pas, même lorsque la température change rapidement. Lorsque vous travaillez avec des wafer de 300 mm et des tolérances strictes, ces quelques micromètres d’or sont essentiels pour éviter que vos puces ne soient endommagées.
Quelques précautions à prendre
Les lampes recouvertes d’or sont bien sûr l’option la plus propre, mais elles peuvent être un peu capricieuses.
Tout d’abord, ne touchez jamais la surface recouverte d’or avec vos mains nues. Même une petite quantité d’huile cutanée peut endommager l’or lors du premier chauffage, ce qui crée des points chauds. C’est une erreur simple à commettre, mais elle peut avoir de graves conséquences.
De plus, comme l’or modifie la façon dont la chaleur est émise, vous devrez probablement ajuster vos commandes PID. Sinon, vous risquez de dépasser la température souhaitée.
Un dernier conseil : utilisez un alimentation électrique dédiée. Cela permet de maintenir une tension constante et d’éviter que le filament ne brûle prématurément.