Modules de chauffage infrarouge pour fabrication

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

Sur le poste de lithographie, il suffit d’une légère variation de 0,5 degré dans la température de séchage du photo-résiste pour que les largesurs de ligne censées être contrôlées deviennent imprévisibles. On ne peut pas garantir un taux de productivité correct avec des valeurs de référence qui varient constamment. C’est pourquoi nous avons développé des modules de chauffage infrarouge qui permettent de maintenir le comportement thermique dans les limites prévues, étape après étape.

Ce qui est important sur le plan technique Nous utilisons des émetteurs infrarouges à ondes courtes, équipés de filaments à réponse rapide. Cela permet une montée en température rapide et un état stationnaire stable. Sur toute la surface de la plaque de chauffage, l’uniformité de température reste à ±0,1 °C, tandis que la reproductibilité entre différentes séries est de ±0,2 °C. La régulation se fait grâce à une pyrométrie en boucle fermée et à un système PID, ce qui permet des corrections en quelques fractions de seconde. Ainsi, la température ne varie pas lorsque la porte s’ouvre. Les modules fonctionnent dans des salles propres de classe 1–100, et l’assemblage en quartz/céramique est conçu pour ne pas produire de particules – pas de dégazage, pas de fissuration, pas de contamination.

Modules on Eco-Friendly Infrared Heating

Modules de chauffage infrarouge pour fabrication