בשורת 300mm, סימן מים אחד בלבד לאחר ניקוי מספיק כדי להרוס מנה שלמה. בנינו את מנורת ייבוש מים מיוננים כדי למנוע את מצב הכשל הזה, ומספקים אידוי מבוקר ללא שאריות סרט ובלי חריגות חלקיקים.
מה שחשוב, מבחינה טכנית
המנורה מכילה מפיצי אינפרא-אדום קצר-גל במארז אטום, תואם לחדר נקי. היא מחממת את משטח הוואפער ישירות, וכך מתחמקים מעיכוב הנגרם בקונבקציה. אחידות הטמפרטורה לאורך הוואפער נשמרת ב-±0.1°C, וחזרתיות נקודת ההגדרה מגיעה ל-±0.2°C לאורך יותר מ-10,000 מחזורי אפייה.
ההפעלה הקרה לפרופיל אפייה יציב מתבצעת מתחת ל-30 שניות, והיא פועלת ללא יצירת חלקיקים, כפי שאומת מול תקני ISO Class 1–100. המערכת מיועדת לפעולה 24/7, עם משוב תרמי חזוי שמחזיק סטייה ביציאה מתחת ל-5% במשך 5,000 שעות.
מדוע זה עובד בשלבים תהליכיים אמיתיים
בייבוש לאחר ניקוי ובשלבי אפיית פוטורזיסט, המנורה מגנה על תקציב החום שלכם על ידי הימנעות מעקף גובה—עקף שיכול לגרום לדילול TTOP או לשינויים בפרופיל הרגל. התוצאה היא שליטה הדוקה יותר ב-CD ופחות תיקונים בשלב האפייה הרכה והקשה, תוך חיסכון בצריכת אנרגיה לעומת הפעלה של פלטות אפייה מלאות בתא.
תקבלו תפוקה גבוהה יותר עם חלון תהליך רחב יותר, ותפסיקו לזרוק מנות בגלל סימני מים שנותרו.
מה צריך לתכנן מראש
המנורה דורשת התקנה ברמת חדר נקי ומקור הספק מסונן ומיועד כדי לשמור על יציבות תרמית בהתאם לדרישות. היא מותאמת לוואפרים בגדלים 150/200/300mm.
ערכת התאמה לאחור מתאימה לרוב פלטפורמות המסלול, אך במידה שנותנים חיבור לתנורים ישנים, ייתכן ויידרש מתקן ייעודי להתאמת שדה ההקרנה. יש לתכנן ריצת אימות קצרה לקיבוע פרופיל האפייה ולאישור ביצועי החלקיקים מול קו הבסיס שלכם.