עזיבת השיטות הישנות: ייבוש שבבי MEMS באמצעות אור אינפרא-אדום
כשמייצרים חיישני MEMS, יש צורך להוריד את הלחות מהשבבים – אך זו משימה מאתגרת. יש צורך להוריד את המים במהירות, אך אם משתמשים בחום בצורה לא נכונה, זה עלול לפגוע בחומר ולהרוס את כל השבבים.
לכן אנו משתמשים במנורות אינפרא-אדום בעלות גלים קצרים.
חשבו על תנור רגיל – הוא מחמם את כל האוויר, הקירות וכל החדר, רק כדי לייבש שבב אחד. זו בזבוז אנרגיה. אור אינפרא-אדום שונה – הוא פוגע ישירות בפני השטח של השבב, בלי שום מתווך.
הפיזיקה שעומדת מאחורי זה די פשוטה: המנורות האלו הופכות חשמל לחום. אנו מגדירים את המנורות כך שהן יפיקו הרבה אנרגיה בשטח קטן, מה שמאפשר למים להתאדות תוך כמה שניות. מכיוון שאין צורך לחמם את האוויר סביב השבב, אין צורך לבזבז אנרגיה. זו הסיבה שזו שיטה “ירוקה” – פחות בזבוז אנרגיה פירושו פחות פליטות פחמן. פשוט כל כך.
עכשיו, המנורות עצמן…
אנו בונים אותן עם חוטי טונגסטן בתוך קוורץ בעל טוהר גבוה. כדי שהן יהיו יעילות יותר, אנו מוסיפים ציפויים מיוחדים לקוורץ. זה הסוד – הציפויים מבטיחים שהאנרגיה תפגע רק בטיפות המים, ולא תחדור לחומר הסיליקון.
אך יש דבר אחד שצריך לזכור: ככל שהאינטנסיביות גבוהה יותר, כך יש צורך להקפיד יותר על קירור המנורה. אם לא עושים זאת, החיבורים של המנורה עלולים להימס, וזו בעיה שאף אחד לא רוצה.