http://eco-ir-heat.com/he/tags/%D7%9E%D7%A4%D7%96%D7%A8-%D7%97%D7%95%D7%9D/ Recent content in מפזר חום on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo he Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/he/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 10:08:52 +0800 http://eco-ir-heat.com/he/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מחמם אינפרא אדום לתא ואקום"></p> <p>בקו של 300mm, אפיית ריכוך אינה אופציונלית — זו תקציב חום, פשוט וברור. סטייה של 2°C על פני ה-wafer יכולה להזיז את ה-CD בננומטרים, והואקום רק מחמיר את השינוי. בנינו את גוף החימום IR לחדר ואקום כדי להוציא את המשתנה הזה מהמשוואה, כך שהטמפרטורה נשארת מדויקת וחוזרת על עצמה במקומות שבהם הליתוגרפיה ועבודות סרט דק דורשות זאת.</p> <p><strong>מה חשוב מתחת למכסה המנוע</strong><br> אנחנו מפעילים פולטי אינפרא-אדום קצר גל (NIR) במעטפת קווארץ עם תגובה מהירה, מכווננת להתייצבות מהירה תחת ואקום. אחידות הטמפרטורה במישור ה-wafer נשמרת בטווח ±0.1°C לאורך חלון התהליך, וחזרה על תהליכים בין אצוות נשארת בתוך ±0.5°C. גוף החימום מתוכנן לשילוב בחדר נקי Class 1–100: חומרים בעלי פליטה נמוכה וארגון מינימלי של חלקיקים שמונע זיהום ה-wafer. הפלט נשאר יציב ממצב המתנה ועד עומס מלא, ולולאת הבקרה מפצה על שינויים בשיעור הפליטה לאורך <a href="https://o-yate.com">wafers</a> עם דפוסים ללא תגובת יתר.</p>