בחדר הייצור, שינויים תרמיים במהלך תהליך העיבוד של הפוטורזיסט הם דברים שניתן להרגיש אותם עוד לפני שרואים אותם. השכבה שנוצרת על הוופר מתחילה להשתנות,...

בחדרי הייצור, כמו שאנו יודעים, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת האפייה של הפוטורזיסט יכול לגרום לשינוי של ננומטרים בממדים הקריטיים של השבב, וכך לגרום לכך...