http://eco-ir-heat.com/he/tags/modules/ Recent content in Modules on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo he Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/he/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/he/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="מודולי חימום באינפרא אדום למפעלים"></p> <p>בחדר הליתוגרפיה, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכול לגרום לסטיות ברוחב הקווים שנוצרים. לא ניתן לשלוט באיכות המוצר כשהטמפרטורות משתנות. לכן יצרנו מודולי חימום באינפרא-אדום ששומרים על הטמפרטורות בתוך הטווח הרצוי, משימוש לשימוש.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים בגופי פליטה באינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה, כך שניתן להגיע לטמפרטורה הרצוית במהירות ולשמור על יציבות הטמפרטורה. על פני השטח של הוואפר, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרה על אותו תוצאה בין שימושים שונים היא בטווח של ±0.2°C. שליטה בטמפרטורה נעשית באמצעות מערכות פירומטריה ו-PID, כך שהטמפרטורה לא משתנה כשהדלת נפתחת. המודולים פועלים בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, והמבנה שלהם עשוי מקוורץ/קרמיקה, כך שאין שום חלקיקים שעלולים להזהם את התהליך.</p>