वेफर निर्माण प्रक्रिया में होने वाली समस्याओं को रोकना आवश्यक है।
ईमानदारी से कहें तो, उच्च भार वाले सेमीकंडक्टर उपकरणों में इन्फ्रारेड लैंपों में खराबी होना कोई “तकनीकी समस्या” नहीं है… यह तो एक वास्तविक आपदा है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब खराब हो जाती है, तो न केवल उपकरण बंद हो जाता है, बल्कि काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस भी वेफरों पर गिर जाती है। ऐसी स्थिति में पूरा उत्पादन नष्ट हो जाता है… यह तो बहुत ही नुकसानदायक स्थिति है।
इसी कारण हमने स्टेनलेस स्टील से ही हीटर हाउजिंग बनाई। हम चाहते हैं कि ऐसी स्थितियों में भी गंदगी उत्पादन क्षेत्र में न जा सके, और वेफर साफ रहें।
ऊष्मा से निपटना
हमने स्टेनलेस स्टील ही चुना… क्योंकि यह ऊष्मा को अच्छी तरह संभाल सकता है… लेकिन एल्यूमीनियम की तुलना में यह ऊष्मा को इतनी तेजी से बाहर नहीं निकाल पाता।
यह एक जानबूझकर लिया गया निर्णय है… ताकि उच्च वाटेज वाले उपकरणों के उपयोग में हीटर हाउजिंग में कोई विकृति न हो। हमने दीवारों की मोटाई को ऐसा ही रखा है… ताकि वह पर्याप्त मजबूत रहे, लेकिन इन्फ्रारेड तरंगों का प्रवाह भी बाधित न हो।
सरलता
कोई भी व्यक्ति एक ही लैंप की मरम्मत के लिए पूरे मशीन को नष्ट करना नहीं चाहेगा… इसलिए हमने ऐसी हीटर हाउजिंग बनाई, जिसे आसानी से बदला जा सके।
बस हाउजिंग को निकालकर नया ट्यूब लगाना ही काफी है… यह बहुत ही सरल है… इससे उपकरण का आकार छोटा रहता है, एवं रखरखाव की प्रक्रिया भी आसान हो जाती है।
अंत में, हमारा लक्ष्य वेफरों पर गंदगी न आने देना ही है… न कि पूर्ण ऊष्मा-पारगम्यता हासिल करना। यह तो एक समझौता ही है… लेकिन यही समझौता हमें हजारों डॉलर के नुकसान से बचाता है।