लाइन पर, लिथोग्राफी उपकरण ऐसी स्थितियों का सामना नहीं कर पाते। “सॉफ्ट बेक” के दौरान 2°C का अंतर फोटोरेजिस्ट की मोटाई को प्रभावित करता है; जबकि “हार्ड...

Out on the fab floor, a few degrees of temperature drift during the photoresist bake isn’t a “minor deviation.” It punches straight at Critical...