परिचय सच तो यह है कि हम EUV रेजिस्ट हीटर उत्पाद इसलिए ही बनाते हैं – ताकि आपके लिथोग्राफी उपकरण सतत काम करते रहें। कोई रुकावट नहीं… कोई समस्या नहीं।...

लाइन पर, लिथोग्राफी उपकरण ऐसी स्थितियों का सामना नहीं कर पाते। “सॉफ्ट बेक” के दौरान 2°C का अंतर फोटोरेजिस्ट की मोटाई को प्रभावित करता है; जबकि “हार्ड...