http://eco-ir-heat.com/hi/tags/%E0%A4%AE%E0%A5%89%E0%A4%A1%E0%A5%8D%E0%A4%AF%E0%A5%82%E0%A4%B2/ Recent content in मॉड्यूल on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo hi Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/hi/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800 http://eco-ir-heat.com/hi/posts/infrared-heating-modules-for-fab/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="फैब के लिए इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल्स"></p> <p>लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में सिर्फ आधा डिग्री का अंतर ही नियंत्रित रेखाओं को अनियंत्रित करने हेतु पर्याप्त है। ऐसी स्थिति में उत्पादन दर को नियंत्रित रखना संभव नहीं है। इसलिए हमने इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल विकसित किए, जो प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित रखते हैं।</p> <p><strong>तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:</strong><br> हम तेज प्रतिक्रिया वाले फिलामेंट वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे तापमान तेजी से बढ़ता है एवं स्थिर अवस्था बनी रहती है। हॉटप्लेट पर वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, जबकि विभिन्न बैचों के बीच यह मान ±0.2°C ही होता है। क्लोज्ड-लूप पायरोमेट्री एवं PID तकनीकों के द्वारा तापमान को नियंत्रित किया जाता है; इससे दरवाजा खुलने पर भी तापमान में कोई बदलाव नहीं होता। ये मॉड्यूल क्लास 1-100 के क्लीनरूमों में ही काम करते हैं, एवं क्वार्ट्ज/सिरेमिक सामग्री का उपयोग करके ऐसी संरचनाएँ बनाई गई हैं जिनसे कोई कण न निकले – न तो कोई गैस, न ही कोई दूषण।</p>