हीटिंग on Eco-Friendly Infrared Heating

ऊर्जा बचत वाले सेमीकंडक्टर हीटिंग सिस्टम

Fri, 24 Jul 2026 11:41:11 +0800

हवा को गर्म करना बंद करें: सेमीकंडक्टरों को ठंडा रखने का एक बेहतर तरीका
पारंपरिक कन्वेक्शन ओवनों के बारे में सच कहें तो, ये वास्तव में ऐसे विशाल बॉक्स हैं, जो हवा में मौजूद प्रत्येक अणु को गर्म करते हैं, ताकि एक छोटे से वेफर को उचित तापमान तक पहुँचाया जा सके। यह ऊर्जा की बर्बादी है।
हमने इसका एक बेहतर तरीका खोजा है। पूरे कमरे को गर्म करने के बजाय, हम शॉर्टवेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं, ताकि वेफर की सतह पर सीधे ऊर्जा पहुँच सके। यह ऐसा ही है, जैसे कि हम स्पेस हीटर के बजाय हीट लैंप का उपयोग कर रहे हैं… इस तरह हमें मशीन की दीवारों को गर्म करने हेतु ऊर्जा खर्च करने की आवश्यकता ही नहीं है।
रेडिएंट हीट का जादू
शॉर्टवेव इन्फ्रारेड लैंप उच्च आवृत्ति पर काम करते हैं… इसका मतलब है कि ऊर्जा केवल सतह पर ही नहीं, बल्कि सामग्री के भीतर भी पहुँच जाती है। इस तरह लक्षित तापमान तक पहुँचने में समय कम लगता है। “ग्रीन फैक्ट्री” में हर किलोवाट-घंटा महत्वपूर्ण है… उच्च-शक्ति वाले लैंपों का उपयोग करके हम ऊर्जा की खपत को कम कर सकते हैं… यह बहुत ही तेज़ तरीका है… और इससे हमारे ऊर्जा-बिल में भी बदलाव आता है।
लैंप में वास्तव में क्या है?
हम निर्माण में कोई कसर नहीं छोड़ते… हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं, ताकि फिलामेंट जल्दी नष्ट न हों… हैलोजन गैस यहाँ महत्वपूर्ण भूमिका निभाती है… यह टंगस्टन के जल्दी वाष्पीकृत होने को रोकती है… इसके बिना ट्यूबें धीरे-धीरे काली हो जाती हैं… इसके अलावा, हम वेवलेंथ को समायोजित करने हेतु विशेष कोटिंगों का उपयोग करते हैं… हम चाहते हैं कि सिलिकॉन/फोटोरेसिस्ट ऊर्जा को अवशोषित करे, न कि उसे वापस उपकरण में भेजे।
एकीकरण में आने वाली समस्याएँ
अब, आप बस एक बल्ब बदलकर काम खत्म नहीं कर सकते… आपको अपनी ऊर्जा-व्यवस्था पर भी ध्यान देना होगा… ऐसे उच्च-शक्ति वाले लैंप चालू होते ही बहुत सारी ऊर्जा खपत करते हैं… यदि आप अपने पावर सप्लाई एवं PID कंट्रोलरों को इन ऊर्जा-लहरों को संभालने हेतु ठीक से व्यवस्थित नहीं करते, तो आपको पूरे दिन ब्रेकर ट्रिप होने की समस्या होगी… इसके अलावा, आपको अपनी शीतलन-व्यवस्था पर भी ध्यान देना होगा… शॉर्टवेव इन्फ्रारेड लैंप बहुत ही अधिक ऊर्जा उत्पन्न करते हैं… यदि आपकी शीतलन-व्यवस्था ठीक से न हो, तो लैंपों के छोर जल सकते हैं… या फिर क्वार्ट्ज ट्यूबें तनाव के कारण टूट सकती हैं… लेकिन जब सब कुछ ठीक हो जाता है, तो आपके उत्पादन-समय में कमी आ जाती है… कम समय में ही ऊर्जा खपत होती है… यह तो एक बेहतरीन तरीका है।

वेफर को गर्म करने हेतु सुरक्षा दूरी

Wed, 22 Jul 2026 04:26:05 +0800

हम वेफरों के सुखाने हेतु IR तकनीक क्यों अपना रहे हैं?

चलिए, पुरानी विधियों के बारे में बात करते हैं। वर्षों से, हम वेफरों को सुखाने हेतु बड़े-बड़े कन्वेक्शन ओवनों एवं खतरनाक रासायनिक पदार्थों का उपयोग करते रहे हैं। यह तरीका तो काम करता है, लेकिन यह बहुत ही जटिल है।
आजकल, “हरित” या “लीड-मुक्त” तकनीकों का उपयोग करना केवल किसी नियामक की शर्त नहीं है; बल्कि ऐसा करने से हम उन हानिकारक ऑर्गेनिक यौगिकों से छुटकारा पा सकते हैं, एवं क्लीनरूम में कार्बन उत्सर्जन को भी कम कर सकते हैं। यह तो बहुत ही उचित है।

फैब के लिए इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल्स

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में सिर्फ आधा डिग्री का अंतर ही नियंत्रित रेखाओं को अनियंत्रित करने हेतु पर्याप्त है। ऐसी स्थिति में उत्पादन दर को नियंत्रित रखना संभव नहीं है। इसलिए हमने इन्फ्रारेड हीटिंग मॉड्यूल विकसित किए, जो प्रक्रिया के दौरान तापमान को नियंत्रित रखते हैं।

तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हम तेज प्रतिक्रिया वाले फिलामेंट वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे तापमान तेजी से बढ़ता है एवं स्थिर अवस्था बनी रहती है। हॉटप्लेट पर वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है, जबकि विभिन्न बैचों के बीच यह मान ±0.2°C ही होता है। क्लोज्ड-लूप पायरोमेट्री एवं PID तकनीकों के द्वारा तापमान को नियंत्रित किया जाता है; इससे दरवाजा खुलने पर भी तापमान में कोई बदलाव नहीं होता। ये मॉड्यूल क्लास 1-100 के क्लीनरूमों में ही काम करते हैं, एवं क्वार्ट्ज/सिरेमिक सामग्री का उपयोग करके ऐसी संरचनाएँ बनाई गई हैं जिनसे कोई कण न निकले – न तो कोई गैस, न ही कोई दूषण।