Pada lini 300mm, satu tanda air setelah pembersihan sudah cukup untuk merusak seluruh lot. Kami merancang Deionized Water Drying Lamp untuk menghilangkan mode kegagalan tersebut, memberikan Anda penguapan yang terkontrol tanpa residu film dan tanpa lonjakan partikel.
Apa yang penting secara teknis
Lampu ini menggabungkan pemancar inframerah gelombang pendek ke dalam housing tertutup yang kompatibel dengan cleanroom. Ia memanaskan permukaan wafer secara langsung, sehingga melewati keterlambatan yang terjadi pada konveksi. Keseragaman temperatur di seluruh wafer dipertahankan pada ±0,1°C, dan pengulangan setpoint mencapai ±0,2°C pada lebih dari 10.000 siklus pemanggangan.
Pemanasan dari keadaan dingin menuju profil pemanggangan yang stabil terjadi dalam waktu kurang dari 30 detik, dan beroperasi dengan nol generasi partikel yang sudah diverifikasi sesuai baseline ISO Class 1–100. Sistem ini dirancang untuk operasi 24/7, dengan umpan balik termal prediktif yang menjaga drift output di bawah 5% selama 5.000 jam.
Mengapa ini efektif pada proses sebenarnya
Dalam pengeringan pasca-pembersihan dan pada langkah pemanggangan fotoresist, lampu ini melindungi anggaran termal Anda dengan menghindari overshoot—overshoot yang dapat menyebabkan penipisan TTOP atau perubahan profil foot. Anda mendapatkan kontrol CD yang lebih ketat dan lebih sedikit pengulangan kerja pada soft bake dan hard bake, sekaligus mengurangi penggunaan energi dibandingkan dengan pemanggangan menggunakan piringan pemanggang seluruh ruang.
Anda memperoleh throughput yang lebih tinggi dengan jendela proses yang lebih luas, dan menghentikan pemborosan lot karena tanda air residual.
Apa yang perlu Anda persiapkan
Lampu ini memerlukan pemasangan dengan standar cleanroom dan pasokan daya khusus yang sudah difilter untuk menjaga stabilitas termal pada tingkat yang diperlukan. Lampu ini dioptimalkan untuk wafer 150/200/300mm.
Kit retrofit tersedia untuk sebagian besar platform track, tetapi jika Anda mengintegrasikan ke oven lama, Anda mungkin memerlukan fixture khusus untuk menyelaraskan bidang iradiasi. Siapkan uji kualifikasi singkat untuk menetapkan profil pemanggangan Anda dan mengonfirmasi kinerja partikel sesuai baseline Anda.