Meninggalkan Cara Lama: Mengeringkan Wafer MEMS dengan Sinar Infra Merah
Saat membuat sensor MEMS, menghilangkan kelembapan dari wafer tersebut merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian. Air perlu dihilangkan secepat mungkin, tetapi jika suhu yang digunakan tidak tepat, hal tersebut akan merusak bahan yang digunakan dalam pembuatan sensor tersebut.
Itulah mengapa kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi. Bayangkan oven konvensional biasa: oven tersebut memanaskan udara, dinding, dan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan satu wafer saja. Itu merupakan pemborosan energi. Berbeda dengan lampu inframerah; sinarnya langsung mengenai permukaan wafer tanpa melalui perantara apa pun.
Fisikanya sebenarnya cukup sederhana. Lampu ini mengubah listrik menjadi panas radiatif. Kami menyetelnya sedemikian rupa sehingga energi dapat dikumpulkan dalam ruang yang kecil, sehingga air bisa langsung menguap dalam beberapa detik saja. Karena tidak perlu memanaskan udara di sekitar wafer, maka energi pun tidak terbuang sia-sia. Inilah keuntungan penggunaan lampu inframerah: polusi karbon berkurang. Sangat sederhana.
Sekarang, soal perangkatnya sendiri. Perangkat ini dibuat menggunakan filamen tungsten di dalam kuarsa berkualitas tinggi. Untuk membuatnya lebih efektif, kami menambahkan lapisan khusus pada kuarsa tersebut. Inilah rahasianya: lapisan ini memastikan bahwa energi hanya ditujukan untuk menguapkan tetesan air, bukan menyerapnya ke dalam substrat silikon.
Namun, ada hal yang perlu diperhatikan: pastikan koneksi listriknya kuat. Lampu ini sangat cepat bekerja karena dayanya yang besar, tetapi hal ini juga berarti beban listrik yang harus ditanggung akan meningkat. Jika kabelnya tidak mampu menahan arus listrik yang tinggi saat lampu dinyalakan, maka fuse akan sering rusak.
Menerapkannya di pabrik. Jika Anda masih menggunakan sistem pembakaran gas atau oven besar, maka menggantinya dengan lampu inframerah merupakan pilihan yang tepat. Hal ini akan mengurangi konsumsi energi per wafer. Kami merancang perangkat ini agar dapat digunakan sebagai pengganti langsung, sehingga Anda tidak perlu menghentikan operasional pabrik selama berminggu-minggu hanya untuk melakukan pembaruan. Proses pengeringan wafer akan berjalan lebih cepat, dan emisi karbon pun berkurang.
Satu hal yang perlu diingat: semakin tinggi intensitas cahaya yang dihasilkan, semakin penting untuk memastikan bagian luar lampu didinginkan dengan baik. Jika tidak, koneksi listriknya bisa rusak, dan itu tentu merupakan masalah yang tidak ingin dialami siapa pun.