http://eco-ir-heat.com/id/tags/mems/ Recent content in MEMS on Eco-Friendly Infrared Heating Hugo id Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800 http://eco-ir-heat.com/id/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-shortwave-infrared-heating/ Fri, 24 Jul 2026 11:25:49 +0800 http://eco-ir-heat.com/id/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-shortwave-infrared-heating/ <p><img src="http://eco-ir-heat.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Pemanas untuk mengeringkan wafer sensor MEMS"></p> <p><strong>Meninggalkan Cara Lama: Mengeringkan Wafer MEMS dengan Sinar Infra Merah</strong><br> Saat membuat sensor MEMS, menghilangkan kelembapan dari wafer tersebut merupakan proses yang membutuhkan kehati-hatian. Air perlu dihilangkan secepat mungkin, tetapi jika suhu yang digunakan tidak tepat, hal tersebut akan merusak bahan yang digunakan dalam pembuatan sensor tersebut.</p> <p>Itulah mengapa kami menggunakan lampu inframerah berfrekuensi tinggi. Bayangkan oven konvensional biasa: oven tersebut memanaskan udara, dinding, dan seluruh ruangan hanya untuk mengeringkan satu wafer saja. Itu merupakan pemborosan energi. Berbeda dengan lampu inframerah; sinarnya langsung mengenai permukaan wafer tanpa melalui perantara apa pun.</p>