Modul pemanas inframerah untuk fabrikasi

Tue, 30 Jun 2026 04:50:17 +0800

Di area litografi, perubahan suhu sebesar setengah derajat saja selama proses pemanasan fotoresist sudah cukup untuk membuat lebar garis yang seharusnya terkendali menjadi tidak stabil. Anda tidak bisa memperoleh hasil produksi yang baik jika titik pengaturan suhunya berubah-ubah. Oleh karena itu, kami membuat modul pemanas inframerah yang mampu menjaga kondisi termal tetap stabil dari satu siklus ke siklus berikutnya.

Yang penting secara teknis: Kami menggunakan pemancar inframerah berpanjang gelombang pendek dengan filamen yang memiliki respons cepat, sehingga proses pemanasan dapat berlangsung dengan cepat dan mencapai kondisi stabil. Di seluruh permukaan pelat panas, tingkat keseragaman suhu pada wafer tetap berada dalam kisaran ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitas antar batch adalah ±0,2°C. Sistem kontrol berbasis pyrometri dan PID digunakan untuk mengatur suhu, dengan koreksi yang dilakukan dalam waktu sub-detik. Dengan demikian, suhu tidak akan berubah ketika pintu ruangan dibuka. Modul-modul ini dipasang di ruang bersih kelas 1–100, sehingga tidak ada partikel yang terbentuk—tidak ada emisi gas, tidak ada kerusakan permukaan, dan tidak ada kontaminasi.

Modul on Eco-Friendly Infrared Heating

Modul pemanas inframerah untuk fabrikasi